Occasion AXCELIS / FUSION G03 #9261537 à vendre en France

AXCELIS/FUSION G03 est un équipement de pointe conçu pour la production à haut débit dans l'industrie de la fabrication de puces. Ce système est conçu avec une unité robuste de manipulation robotique qui peut exécuter une variété de processus, de la gravure profonde du silicium polycristallin à la gravure peu profonde des couches de nitrure. La machine a une configuration multi-chambres qui lui permet d'effectuer plusieurs gravures en une seule séquence, avec un temps de cycle de 30 s à 4 minutes, selon la recette. Le cœur de FUSION G03 est son architecture de gravure synchronisée en mode avancé (AMS-E), qui utilise des chambres de gravure contrôlées par ordinateur avancées qui utilisent un logiciel de commande 32 bits intelligent pour optimiser les profils de gravure. Il dispose de multiples sources de plasma avec un contrôle indépendant de la fréquence RF de chaque chambre, de la chimie des gaz plasmatiques et de la pression - permettant des conditions de gravure optimisées pour une variété de matériaux. En outre, l'outil est conçu avec une suite de systèmes de suivi des recettes, de suivi des plaquettes et de nettoyage des chambres qui assurent à la fois l'uniformité des processus et la qualité de la production. En particulier, l'actif de contrôle automatisé des processus (APC) intégré surveille le processus en temps réel avec un réglage automatisé des processus au niveau des plaquettes afin d'améliorer la précision des recettes et de réduire le besoin de réglage manuel des recettes pendant la production. Le modèle dispose également d'un équipement de vision intégré avec une caméra haute résolution, capable d'imiter complètement une plaquette après gravure, permettant à la fois la validation des processus au niveau de la plaquette et la détection des défauts. Ses capacités d'inspection sont encore renforcées par un TeraScan WFS190 qui peut détecter les niveaux de particules dans le système en surveillant les plaquettes entrantes, via plusieurs sondes. Dans l'ensemble, AXCELIS G03 est équipé d'une grande variété de caractéristiques et de technologies de pointe pour assurer une production efficace, fiable et à haut rendement des puces. Il offre des taux de gravure rapides, une précision de recette supérieure, l'uniformité des processus, l'optimisation des processus et l'analyse au niveau des plaquettes, permettant aux fabricants de puces de maximiser la rentabilité et d'améliorer leur avantage concurrentiel.