Occasion AXCELIS / FUSION G03 #9261541 à vendre en France

Fabricant
AXCELIS / FUSION
Modèle
G03
ID: 9261541
Ozone asher Dual chamber Dual robot arm (2) Cassettes auto loaders.
AXCELIS/FUSION G03 est un appareil de gravure électrochimique haute performance utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs. Il est conçu pour la production de dispositifs au niveau des plaquettes et des filières dans l'industrie des semi-conducteurs. FUSION G03 offre la précision ultime et le contrôle requis pour la gravure de caractéristiques haute densité, haute précision et haute performance sur les surfaces semi-conductrices. AXCELIS G03 est un système très flexible avec plusieurs avantages en termes de coût, de flexibilité, de compatibilité et de productivité pour de nombreux procédés de semi-conducteurs différents. Il est conçu pour le masquage de plusieurs couches de résines photosensibles avec des options pour l'ashing rapide des films de résines photosensibles négatives et positives. G03 a construit dans des réglages de puissance variables qui permettent une profondeur de gravure précise et peut être ajustée pour différentes résistivités tandis que la puissance de polarisation RF assure une gravure complète de tous les types de matériaux de faible à haute résistivité. AXCELIS/FUSION G03 est conçu pour fournir des résultats de gravure et de cendrage uniformes et de haute qualité avec des rendements élevés et un excellent débit. Son fonctionnement est contrôlé par une unité de contrôle haute performance et son processus de gravure peut être réglé pour différentes tailles de plaquettes et de filière. FUSION G03 est équipé d'un oscillateur accordable électroniquement pour la gravure de précision, d'une variété de systèmes de distribution de gaz internes et externes pour une meilleure contrôlabilité, et d'une interface utilisateur sophistiquée pour un fonctionnement et une surveillance faciles. Il fournit également une grande variété de configurations de gravure précises, y compris la gravure à plusieurs couches et plusieurs stratégies de masque. AXCELIS G03 dispose d'une large gamme de dispositifs de sécurité tels que l'arrêt automatique, un interrupteur d'arrêt d'urgence, une ventilation forcée et d'autres dispositifs conçus pour protéger les opérateurs contre les dangers potentiels. Il comprend également un programmateur DMA préconfiguré et une machine d'alarme intégrée pour des opérations de gravure efficaces. Dans l'ensemble, G03 est un outil de gravure/ashing plasma fiable et fiable qui assure une gravure de précision avec des temps de traitement rapides et une excellente productivité. Il est conçu pour maintenir des profils de gravure de haute qualité pour une grande variété de substrats et répond à toutes les exigences de l'industrie des semi-conducteurs.
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