Occasion AXCELIS / FUSION Gemini GPL #293757340 à vendre en France

ID: 293757340
Plasma asher Dual ashing chamber Coolplate cassette loading station with automatic robot handler Photoresist etching Gases: O2 / N2H2 Endpoint detection Etch uniformity: < 5%.
AXCELIS/FUSION Gemini GPL est un graveur/asher à très haute productivité qui a été conçu spécialement pour servir l'industrie des semi-conducteurs. Avec sa conception précise riche en fonctionnalités, il offre des performances inégalées pour le traitement des semi-conducteurs. Le graveur/asher crée des images précises sur une grande variété de matériaux, tels que du silicium polycristallin, des métaux, des films SiO2, des films de silicium polycristallin et d'autres films à forte teneur en diélectrique. Il atteint un haut niveau de précision même sur les tailles de fonctionnalités les plus étroites. En tant que tel, il peut produire des dispositifs à haut rendement, haute densité dans des points de processus difficiles avec une grande précision. FUSION Gemini GPL est livré avec de nombreuses fonctionnalités avancées qui le rendent idéal pour la production de dispositifs à haut volume, tels que le placage pulsé, la pulvérisation avant et arrière, la charge sans fin, et l'uniformité améliorée. Il permet également de multiples processus de gravure, tels que la gravure humide ou sèche et la gravure par faisceau d'ions, tout en conservant une précision et une uniformité opérationnelles absolues. AXCELIS Gemini GPL est incroyablement facile à intégrer dans les systèmes de production existants, ainsi qu'à configurer et à utiliser, ce qui en fait un excellent choix pour tous vos besoins de fabrication d'appareils. Son outil de profil de bord intégré assure une uniformité entre les champs, tandis que son profilé dynamique assure une égalité de profil précise entre les appareils. Une des caractéristiques les plus précieuses de Gemini GPL est sa génération de plasma dynamique et son contrôle d'uniformité, qui utilise deux sources distinctes de puissance RF, vous permettant d'atteindre des niveaux de plasma plus élevés et plus d'uniformité que jamais. En outre, la technologie du faisceau d'ions dynamiques qui permet une uniformité sur l'ensemble du substrat est un autre grand avantage de la machine. Pour une productivité ultime, l'etcher/asher comprend des fonctions d'automatisation avancées et des capacités de réseautage qui permettent de planifier et de suivre efficacement les tâches. Il peut même exécuter plusieurs programmes, tels que le calendrier de production, la surveillance des défauts et la collecte de données, simultanément. En outre, son interface utilisateur conviviale, rapide et intuitive permet aux opérateurs d'ajuster facilement, d'ajuster les paramètres, de surveiller rapidement les tâches, et de suivre les défauts et de produire des données afin d'assurer un contrôle optimal des processus. AXCELIS/FUSION Gemini GPL est un graveur/asher révolutionnaire qui offre une précision supérieure, un contrôle de processus supérieur et une productivité ultime pour la fabrication de semi-conducteurs à haut débit. Avec ses fonctionnalités avancées et son interface intuitive, il est un excellent choix pour la gravure semi-conductrice.
Il n'y a pas encore de critiques