Occasion AXCELIS / FUSION Gemini GPS #9272582 à vendre en France

AXCELIS/FUSION Gemini GPS est une machine de gravure/ashing de pointe, conçue spécifiquement pour la production de structures microélectroniques de haute précision et à haut rapport d'aspect. Une caractéristique importante de cet outil est sa haute résolution de gravure et de cendrage : démontrée par ses vitesses de gravure linéaires uniformes et une taille structurelle de 20 microns. FUSION Gemini GPS est idéal pour la fabrication avancée de plaquettes avec des structures 3D très complexes. AXCELIS GEMINI GPS est équipé de deux chambres indépendantes, chacune dotée d'un robot 8 axes autonome pour un positionnement et une manœuvre précis des plaquettes. Cette capacité à déplacer les plaquettes à plusieurs axes permet un positionnement reproductible, permettant des opérations de processus entièrement automatisées. En outre, le mouvement multi-axes permet l'utilisation de multiples recettes de traitement, ainsi que la prise en compte de techniques avancées telles que le paysage en angle. AXCELIS/FUSION GEMINI GPS est piloté par un ensemble électronique de traitement haute performance. Il dispose de sorties d'alimentation RF/DC programmables variables, d'une commande de mouvement complète jusqu'à 8 axes, et de 32 entrées et sorties numériques pour la commande d'entrée/sortie de la machine. Toutes ces caractéristiques permettent un contrôle précis du processus, se traduisant par un rendement plus élevé et des performances prévisibles. FUSION GEMINI GPS dispose de plusieurs fonctionnalités avancées pour améliorer sa qualité de processus. Un système multi-vision intégré permet l'alignement et la vérification automatisés des plaquettes, garantissant des résultats de processus précis. En outre, la machine utilise une commande de puissance RF avancée de haute précision et des vannes AC à entraînement direct pour le réglage du débit de gaz à la volée, fournissant un contrôle précis de l'environnement du processus. En conclusion, GEMINI GPS est une machine de gravure/cendres puissante et fiable, conçue spécifiquement pour la production de structures microélectroniques à haut rapport d'aspect de haute précision. Son mouvement multi-axes, son alimentation RF/DC variable, sa multivision et son contrôle précis des gaz permettent un traitement avancé et à haut rendement. C'est une solution idéale pour les fabs microélectroniques avancés.