Occasion AXCELIS / FUSION Gemini PCU #9258508 à vendre en France

AXCELIS/FUSION Gemini PCU, souvent appelé FUSION Gemini PCU, est un outil de gravure et de cueillette qui utilise le dépôt chimique en phase vapeur (PECVD) enrichi par plasma pour déposer et graver divers matériaux. AXCELIS Gemini PCU permet une gravure et un cendrage de haute précision sur une variété de substrats. C'est un excellent choix pour la gravure et l'ashing dans l'industrie des semi-conducteurs, car il offre une grande résolution et répétabilité. Gemini PCU fonctionne en utilisant l'énergie radio-fréquence basse tension et haute puissance pour générer quelques centaines de watts de puissance dans un environnement basse pression. Cet environnement est utilisé pour faciliter le dépôt d'une couche de matériau pour le procédé de gravure. Le processus de gravure est ensuite réalisé en faisant passer le matériau dans une autre chambre remplie de plasma, dans laquelle le matériau est bombardé et gravé. Le plasma généré dans cette enceinte est surveillé et contrôlé par plusieurs capteurs et autres composants électroniques. La gravure se fait en deux étapes : la gravure initiale et la post-gravure. La gravure initiale utilise une tension de polarisation pour graver la couche de matériau déposée par le PECVD. Ce matériau est gravé sous une forme déterminée par le motif gravé sur le substrat. Le procédé de post-gravure utilise un faisceau d'ions de plus grande puissance pour graver davantage la forme du motif dans le substrat. Pour ce faire, on utilise une stratégie de gravure calibrée élaborée par le fabricant. AXCELIS/FUSION Gemini PCU est capable de graver et d'aspirer un large éventail de matériaux tels que le cuivre, l'aluminium, l'étain, le tungstène, le verre et le silicium. Cela en fait un excellent choix pour les applications où des motifs de gravure complexes et des exigences de cendrage sont en jeu. Il est également très reproductible, ce qui signifie qu'un substrat donné conservera à chaque fois les mêmes résultats de gravure et de cueillette. FUSION Gemini PCU est considéré comme un outil de gravure et de cueillette fiable et puissant. Sa capacité à produire des résultats de haute qualité, précis et reproductibles en font le choix idéal pour la gravure et l'ashing dans l'industrie des semi-conducteurs. Sa précision et sa reproductibilité le rendent également adapté à une variété d'autres applications où la gravure et l'ashing sont nécessaires.