Occasion AXCELIS / FUSION Gemini Polo #9398809 à vendre en France
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AXCELIS/FUSION Gemini Polo est un équipement compact de gravure/asher à haut débit, conçu pour des applications de précision dans l'industrie des semi-conducteurs. Il est équipé d'une interface utilisateur simple et intuitive, permettant un fonctionnement efficace et facile. Le système comprend un étage d'axe automatisé de haute précision, offrant une précision et une répétabilité supérieures. FUSION Gemini Polo est idéal pour le traitement de substrat, avec ses capacités de gravure et de cueillette avancées. AXCELIS Gemini Polo a un design simple et peu encombrant qui est parfait pour les laboratoires où l'espace est limité. Il comprend une unité d'imagerie électronique secondaire (SEM) embarquée pour la surveillance et le contrôle des processus en temps réel. La machine contient également une fonction d'auto-écoute intelligente qui lui permet d'analyser et d'ajuster les recettes pour obtenir des résultats optimaux. Gemini Polo dispose d'une grande interface web d'outil de surveillance, ce qui le rend facile à contrôler et à surveiller le traitement à partir d'une source externe. La puissante gravure/asher utilise l'actif plasma HiDef, qui offre une uniformité, une précision et une reproductibilité supérieures. La grande chambre de procédé offre des tailles de chambre allant de 250 à 800 mm, ce qui la rend adaptée à une large gamme d'applications de procédé. AXCELIS/FUSION Gemini Polo utilise également un modèle de contrôle automatique de la pression, assurant une performance et une répétabilité optimales à tous les niveaux de pression. En raison de son débit élevé, de sa précision et de sa fiabilité, FUSION Gemini Polo est une solution idéale pour les applications de traitement de plaquettes nécessitant une précision de gravure/cueillette supérieure. La compatibilité de l'équipement avec du matériel robuste et des outils logiciels avancés offre la flexibilité de programmer et d'exécuter les processus en fonction des exigences spécifiques. L'interface conviviale et l'éditeur de recettes facile à utiliser font d'AXCELIS Gemini Polo une gravure/asher idéale pour les laboratoires occupés.
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