Occasion AXCELIS / FUSION Gemini #293767155 à vendre en France

AXCELIS/FUSION Gemini est un outil de gravure/ashing dédié de la société FUSION. Il a été conçu pour fournir aux utilisateurs une productivité et une précision élevées pour les processus de gravure et d'ashing. Le système comporte un recouvrement uniforme des taches de faisceau, une contamination minimale sans gravure et un contrôle répétable des processus. La chambre de process de FUSION Gemini a été conçue pour accueillir une grande variété de matériaux et de tailles de substrat, et offre une grande surface de process. AXCELIS Gemini utilise deux technologies distinctes pendant le processus de gravure et d'ashing, permettant une haute sélectivité, un meilleur contrôle du profil et des rendements chimiques élevés. La première technologie est la source d'ions, un faisceau d'ions avec des particules très uniformes. Cela augmente l'efficacité du processus de gravure et donne des profils de gravure beaucoup plus précis que les autres systèmes de gravure. La seconde technologie est le faisceau d'électrons pulsés, une technologie qui utilise des électrons de haute énergie pour créer un champ électrique puissant autour de la cible. Ce champ accélère les ions et augmente leur vitesse, ce qui permet une gravure plus précise et détaillée. Pour une performance et une fiabilité optimales, Gemini dispose de plusieurs fonctions de sécurité sophistiquées intégrées. Ses technologies de pulvérisation offrent une vitesse de gravure contrôlable, une uniformité de faisceau, une sélectivité élevée et des résultats de processus reproductibles, même pour les matériaux avec une sélectivité de gravure minimale. Le système intégré de contrôle de la température empêche la dérive thermique, empêchant les caractéristiques de gravure spécifiques de compromettre. Le contrôleur logiciel pour AXCELIS/FUSION Gemini permet à l'opérateur d'accéder en temps réel aux gaz, aux niveaux de pression, à la puissance RF, aux niveaux de chaleur des plateaux et à d'autres paramètres essentiels du processus. Enfin, FUSION Gemini est compatible avec plusieurs solutions matérielles et logicielles qui permettent de l'intégrer dans tout flux de production ou de laboratoire existant. Cela permet à l'opérateur de contrôler avec précision et précision le processus de gravure, avec la possibilité supplémentaire de modifier les paramètres à la volée. AXCELIS Gemini est un outil puissant et fiable, qui est un choix idéal pour réaliser des processus dans les champs semi-conducteurs, MEMS et RF/micro-ondes.