Occasion AXCELIS / FUSION GPS #9226279 à vendre en France

Fabricant
AXCELIS / FUSION
Modèle
GPS
ID: 9226279
Taille de la plaquette: 8"
Dual chamber UV Stabilizer / Bake system, 8" With 3-Axis robot Missing parts.
AXCELIS/FUSION GPS est une plate-forme avancée de gravure et asher qui offre un contrôle supérieur des processus, la répétabilité et la productivité pour l'intégration des processus et la production. Il comprend une gamme complète de logiciels, de matériel et de produits consommables qui permettent aux utilisateurs de créer des processus de haute précision et hautement reproductibles pour une variété d'applications. FUSION GPS dispose d'un puissant module de contrôle avec une gamme de composants logiciels et matériels, ce qui le rend adapté à une gamme de configurations de processus. Le logiciel est conçu pour être très flexible et convivial, permettant aux utilisateurs de programmer et de contrôler le système rapidement et efficacement. Ce système peut être utilisé en combinaison avec une variété de produits chimiques et de supports de gravure, ce qui le rend bien adapté aux applications intégrées de traitement, de production et de lithographie de contact. Les composants matériels de la plate-forme GPS AXCELIS se composent d'une source de faisceau d'électrons, d'une unité d'optique, d'un étage de plaquettes et d'une source d'ions. La source de faisceau d'électrons génère un faisceau de haute énergie qui est utilisé pour graver sélectivement des caractéristiques sur des matériaux semi-conducteurs. L'unité optique permet la bonne focalisation du faisceau haute énergie et est équipée d'une commande d'obturateur et d'autres fonctions conçues pour optimiser le processus de gravure. L'étage de plaquette permet la rotation et le déplacement de la plaquette pour assurer un traitement uniforme de toutes les caractéristiques. Enfin, la source d'ions est utilisée pour implanter des ions dans le substrat cible, améliorant encore le processus de gravure. La plateforme GPS est équipée d'une gamme de dispositifs de sécurité conçus pour protéger le personnel et les installations. Ces caractéristiques comprennent un écran plat haute résolution et des dispositifs de sécurité avancés, qui détecte les changements de pression, de vide et de température qui peuvent se produire pendant le traitement et alerte l'opérateur lorsqu'un événement dangereux se produit. De plus, la plate-forme comprend un système de cryo-refroidissement intégré conçu pour garder l'environnement de traitement frais et propre. Enfin, la plate-forme AXCELIS/FUSION GPS comprend une gamme de pièces et de matériaux consommables pour garantir des résultats prometteurs dans chaque application. Des masques consommables aux porte-échantillons, câbles, et plus, la plate-forme assure des performances fiables et cohérentes dans chaque processus de gravure et de cueillette. Avec le temps, la plateforme donne des résultats de processus supérieurs et reproductibles.
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