Occasion AXCELIS / FUSION Integra #9201835 à vendre en France

AXCELIS/FUSION Integra est un équipement de gravure et d'ashing très avancé conçu pour le traitement à haut volume dans l'industrie des semi-conducteurs. Ce système avancé combine à la fois gravure plasma et cendre de four avec la flexibilité pour permettre de multiples fonctions dans une unité. La machine est très fiable et efficace, répondant facilement aux exigences des procédés de fabrication de semi-conducteurs les plus sophistiqués. FUSION Integra est capable de traiter une variété de tailles de plaquettes et est capable d'effectuer jusqu'à 6 gravures et 4 opérations de cendrage simultanément. L'outil est construit avec une source de 1270mm (50 po) et des chambres d'isolement multi-zones pour assurer un fonctionnement stable pour des processus de longue durée. Il a une capacité de débit élevée allant jusqu'à 75 plaquettes par heure pour les procédés de gravure et jusqu'à 25 plaquettes par heure pour le cendrage. L'actif comprend également un modèle de refroidissement à double refroidisseur pour améliorer les performances et la fiabilité, ainsi qu'un équipement de livraison de gaz inerte de précision généré pour assurer des pressions de gaz constantes tout au long du processus. AXCELIS Integra dispose d'une interface intuitive et conviviale permettant de stocker jusqu'à 50 recettes pour un accès rapide et facile. Le système dispose également d'une unité de contrôle puissante et très efficace avec des algorithmes PID accordés qui fournissent un contrôle de processus flexible, précis et répétable. La machine dispose également d'un poste de nettoyage de précision pour permettre un nettoyage facile et efficace des composants de l'outil entre les processus. Pour assurer la sécurité du personnel, Integra dispose d'un certain nombre de dispositifs de sécurité. L'actif est équipé d'embranchements pour prévenir le démarrage ou l'arrêt accidentel du processus, de systèmes de détection des flammes pour assurer la sécurité, le fonctionnement et les capacités d'arrêt d'urgence. Globalement, AXCELIS/FUSION Integra est un modèle avancé idéal pour la gravure, la gravure ionique réactive et les processus de cendrage. Cet équipement fournit une solution fiable, efficace et facile à utiliser, non seulement répondant, mais dépassant les exigences de traitement des semi-conducteurs les plus exigeants.