Occasion AXCELIS / FUSION / MATRIX Bobcat 209S #9201805 à vendre en France
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ID: 9201805
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2001
Single chamber asher
2001 vintage
Power:
208VAC
3 Phase
50 / 60 HZ
Installed in wafer fab
Fully operational
Manuals (CD) available with tool
Asher component details
Mainframe:
Type Standalone
Model Matrix Bobcat 209S asher
Chamber:
How Many? 1
Type RIE
Process ASH
Load locks / Load plate:
Open cassette or SMI Open cassette
How Many? 1
Robot:
How Many? 1
Method of Transport Transfer Unit
Make / Models: Rorze, RR701
RF Generators:
How Many? 2
Make/Models: Comdel FR-111R2, Microwave generator 3kw
Gas box:
Gases used per chamber: 3
Identify gases: N2-1000, N2 -300, N2- 1000 (Gases run O2,N2, none)
MFC’s used (Make /Model): MKS
Control system:
PC or Control Rack? PC
Software ype and Version: Windows nt.
AXCELIS/FUSION/MATRIX Bobcat 209S est un graveur/asher conçu pour la production de circuits intégrés tels que microprocesseurs et DRAM. FUSION Bobcat 209S est très fiable, précis et efficace, offrant d'excellentes performances lors de la gravure ou de la cueillette d'applications. Il a la capacité de traiter des substrats jusqu'à 8 pouces de diamètre, offrant à la fois des procédés simples et double face. Les composants électriques des systèmes sont conçus pour fonctionner à une tension nominale de 200V et peuvent supporter jusqu'à 600V, ce qui permet un meilleur contrôle des processus de gravure et de cueillette. Le système dispose également d'une chambre de porte oscillante brevetée, permettant un chargement/déchargement rapide et facile du substrat. La porte tournante aide également à maintenir une température constante pour l'ensemble du processus, réduisant l'exposition aux variations de température du substrat. MATRIX Bobcat 209S offre également un moniteur d'ordinateur intégré unique VGA/caméra vidéo. Cela permet à l'utilisateur d'inspecter visuellement chaque substrat pour surveiller la cohérence du processus. Un système de détection automatique des points d'extrémité surveille également les conditions du processus afin de s'assurer que le processus de gravure et d'ashing se termine correctement. En outre, AXCELIS Bobcat 209S est capable de RF et dispose d'une plate-forme à température contrôlée pour améliorer la densité, l'uniformité et la stabilité de la vitesse de gravure. Il dispose également d'un régulateur de débit massique qui assure un contrôle axial précis du dépôt tout au long du processus. Le système prend également en charge plusieurs programmes de recette permettant à l'utilisateur de programmer la recette de gravure et d'ashing et de stocker les recettes pour référence future. Bobcat 209S est conçu pour une capacité et une efficacité maximales, permettant des processus de gravure et de cendrage précis et de haute qualité dans un court laps de temps. Il est bien adapté aux fabricants qui recherchent des performances accrues et une meilleure vitesse de production. Il est fiable et convivial pour ceux qui recherchent un graveur/asher fiable pour leurs besoins de circuit intégré.
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