Occasion AXCELIS / FUSION / MATRIX Bobcat 209S #9201816 à vendre en France

AXCELIS/FUSION/MATRIX Bobcat 209S est un graveur/asher spécialement conçu pour les applications avancées de planarisation chimique-mécanique (CMP). Il utilise un plateau rotatif commandé par ordinateur pour déplacer la plaquette à travers la chambre de procédé pendant la gravure ou la cendre, fournissant un haut débit et un excellent contrôle du processus. Cet équipement CMP offre un outil efficace pour retirer le matériau de la surface de la plaquette à une vitesse précise. FUSION Bobcat 209S offre un haut degré d'automatisation pour les processus CMP. Ses caractéristiques comprennent un contrôleur de processus avancé, des capteurs de pression dans les substrats et le système de distribution de fluide pour régler l'alimentation en lisier, les pressions d'échappement, la température et le contrôle de pression pour chaque étape du processus et les cycles automatisés de rinçage et de nettoyage des plaquettes. MATRIX Bobcat 209S est également équipé d'une fonction VDIL (vision-direction gravure inerte) qui lui permet de traiter plusieurs tailles de lot sans intervention de l'opérateur. L'unité permet également un contrôle précis du processus avec des capteurs DPM (rétroaction diffractive) optionnels. De plus, AXCELIS Bobcat 209S fournit une variété d'outils de support de processus tels que des profils de température et de pression, des profils de nettoyage de plaquettes et des recettes de processus. Afin d'améliorer la répétabilité et la fiabilité des processus, Bobcat 209S utilise des logiciels compatibles avec les systèmes logiciels de gestion des recettes. AXCELIS/FUSION/MATRIX Bobcat 209S est une machine CMP flexible ; par conséquent, il soutient une variété de processus CMP, y compris la gravure-retour, le polissage mécanique chimique (CMP), la gravure au gaz et chimique, et le cendrage. Il est capable de recevoir des plaquettes jusqu'à 200 mm de diamètre. En termes de sécurité, FUSION Bobcat 209S est conforme aux normes de sécurité CE et CSA. Grâce à ses normes de conception et de sécurité fiables, MATRIX Bobcat 209S offre un débit maximal et des performances VDIL efficaces. En outre, son rapport coût-efficacité, sa facilité d'entretien et son large éventail d'options de processus en font un choix idéal pour la fabrication de semi-conducteurs de pointe et les applications CMP.