Occasion AXCELIS / FUSION / MATRIX Bobcat #9278672 à vendre en France
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AXCELIS/FUSION/MATRIX Bobcat est un graveur et asher de haute performance, de technologie avancée, capable de produire des caractéristiques tridimensionnelles complexes de haute précision dans une variété de substrats différents. FUSION Bobcat utilise une combinaison de procédés avancés de gravure ICP-RIE (gravure par ions réactifs plasma à couplage inductif) et O3-SE (gravure à l'ozone) pour obtenir une définition précise et à haute résolution des motifs dans des substrats tels que les puces, les métaux et les matériaux composites. MATRIX Bobcat système de gravure se compose de trois chambres indépendantes, chacune avec son propre ensemble de fonctions. La première chambre est le robot de revêtement, qui est responsable de l'interface automatique de la plaquette aux revêtements appropriés. La deuxième chambre est le cendrier, qui utilise la lumière ultraviolette profonde (UV) pour exposer précisément le matériau cible. La troisième chambre est l'graveur, qui utilise les processus de gravure ICP-RIE ou O3-SE pour graver précisément le matériau. Chacune des trois chambres Bobcat est équipée d'un large éventail de paramètres réglables, permettant un contrôle précis des processus de gravure et de cueillette d'AXCELIS Bobcat. Ces paramètres vont du niveau de puissance de la source hyperfréquence, du débit des gaz de gravure/ashing, de la composition gazeuse, de la durée de gravure/ashing, de la tension appliquée aux électrodes, et de la température du plateau. Chaque paramètre peut être ajusté indépendamment pour obtenir le plus haut degré de précision et de qualité pour chaque travail de gravure. AXCELIS/FUSION/MATRIX Bobcat est également équipé d'un système avancé de traitement des données qui permet aux utilisateurs de programmer et de surveiller tous leurs processus de gravure et d'ashing. Le logiciel permet aux utilisateurs de stocker et de comparer les résultats de gravure, de modifier les paramètres et d'effectuer des changements à la volée au besoin. Ce système assure que tout le processus de gravure se déroule de manière répétable et contrôlée. Dans l'ensemble, FUSION Bobcat est l'un des graveurs et cendriers les plus avancés sur le marché aujourd'hui, avec une gamme de caractéristiques réglables qui le rendent idéal pour la gravure et la cendre avec une grande précision et qualité. MATRIX Bobcat est parfait pour la fabrication de composants et substrats électroniques avancés, ou pour la création de structures tridimensionnelles complexes pour des applications spécialisées.
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