Occasion AXCELIS / FUSION MTL-200A #9083200 à vendre en France
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AXCELIS/FUSION MTL-200A est un Etcher/Asher Plasma avancé conçu et fabriqué par FUSION Technologies Inc. qui permet à l'industrie des semi-conducteurs de traiter des structures complexes et délicates avec précision et précision. Ce dernier modèle, FUSION MTL-200A, est conçu pour une utilisation dans un large éventail de processus, y compris la gravure, l'ashing, l'implantation de dopants, et d'autres traitements et modifications de surface de plaquettes. AXCELIS MTL-200A plasma etcher/asher dispose d'une configuration multi-stations avancée pour une utilisation optimisée et la flexibilité. MTL-200A peut traiter à la fois la configuration de plaquettes simple et double face, ce qui permet de traiter plusieurs plaquettes simultanément pour une efficacité et un débit accrus. En outre, AXCELIS/FUSION MTL-200A dispose d'une source de plasma bi-mode avancée avec des électrodes à angle de précision encastré pour contrôler les processus de gravure et de cendrage. La source de plasma sophistiquée permet une gravure profonde et uniforme dans des structures très délicates sans endommager la surface de la plaquette. D'autre part, Ashing fonctionne avec précision entre les caractéristiques gravées, créant une surface propre pour le traitement ultérieur des plaquettes. La conception supérieure de FUSION MTL-200A garantit également la précision et la répétabilité des paramètres du processus de gravure, tels que la température, la pression et le débit de gaz. L'alimentation en plasma couplée au système de distribution de gaz offre un haut degré de contrôle pour assurer des conditions optimales de gravure et de cueillette. En plus de sa puissante technologie plasma, le système logiciel avancé d'AXCELIS MTL-200A permet un haut niveau de contrôle et de suivi des processus. Le logiciel comprend des capacités de cartographie et de diagnostic avancées pour la surveillance et l'analyse complètes des processus ainsi que des capacités optionnelles APC/EPC. Ces fonctionnalités permettent aux utilisateurs de surveiller tous les paramètres de fonctionnement pendant les cycles de processus, d'analyser les détails de chaque processus de gravure/cendres et d'optimiser les paramètres de recette pour améliorer la production et le rendement. En conclusion, MTL-200A Plasma Etcher/Asher d'AXCELIS est un outil puissant et efficace pour l'industrie des semi-conducteurs. Sa configuration avancée multi-stations, sa source de plasma sophistiquée et son système logiciel supérieur se combinent pour fournir une gravure et un cendrage précis, reproductibles et uniformes avec un rendement supérieur.
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