Occasion AXCELIS / FUSION RadiantStrip 320 #293822275 à vendre en France
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AXCELIS/FUSION RadiantStrip 320 est un équipement de gravure et de cendrage spécialement conçu pour les procédés avancés de nanofabrication. C'est un système de haute précision développé pour la gravure de couches minces de plaquettes et de substrats. L'unité est capable de fournir une gravure propre et contrôlée qui est cruciale pour les processus de nanofabrication de haute précision d'aujourd'hui. FUSION RadiantStrip 320 est une chambre de procédé qui offre un design unique qui minimise la charge plasmatique. Il est conçu pour atteindre de faibles pressions de chambre à des taux de gravure élevés. La configuration de la chambre permet d'optimiser plusieurs paramètres de processus et peut fournir des résultats de gravure de haute qualité. La machine utilise un gaz inerte haute pureté et haute pression comme gaz formant plasma et un générateur RF basse pression pour créer du plasma dans la chambre. Le plasma est ensuite utilisé pour graver le substrat. L'outil fournit également une faible consommation de tension et d'énergie. En outre, AXCELIS RadiantStrip 320 peut fournir des processus avec une bonne répétabilité et une excellente uniformité. L'actif fournit aux utilisateurs diverses recettes de procédé, par exemple, recuit thermique rapide, gravure polyimide, gravure au nitrure de silicium, et gravure de couches minces métalliques. Chaque recette peut être configurée avec des paramètres tels que la température, la pression, la puissance et les débits. Il prend également en charge les recettes de processus non standard, ce qui permet aux utilisateurs de personnaliser les processus pour des applications spécifiques. RadiantStrip 320 offre également des caractéristiques de sécurité robustes. Il est équipé d'un modèle d'emboîtement à double chambre à vide qui garantit un environnement de travail sûr. L'équipement contient également un circuit de protection ESD qui empêche les surtensions ESD d'impacter le processus de gravure. Dans l'ensemble, AXCELIS/FUSION RadiantStrip 320 est un système de gravure et de cueillette avancé capable de fournir une gravure et une cueillette propres et précises avec des résultats reproductibles et uniformes. L'unité fournit aux utilisateurs un large éventail d'applications et de recettes personnalisables ainsi que des caractéristiques de sécurité polyvalentes qui protègent les travailleurs contre les surtensions ESD. Il est idéal pour les procédés de nanofabrication de haute précision.
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