Occasion AXCELIS / FUSION Rapidstrip 210 #293632717 à vendre en France
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ID: 293632717
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2006
Stripper / Asher system, 8"
Chiller
Vacuum pump
Cavity
2006 vintage.
AXCELIS/FUSION Rapidstrip 210 est un graveur/asher très avancé conçu pour des tâches de gravure et de cendrage à grande vitesse. L'équipement utilise une combinaison de gravures ioniques réactives (RIE), de dépôts chimiques en phase vapeur (CVD) et de procédés humides. FUSION Rapidstrip 210 dispose de deux chambres de gravure intégrées, l'une pour la gravure aux ions réactifs et l'autre pour les procédés de dépôt chimique en phase vapeur. Les deux systèmes sont optimisés pour différentes exigences de gravure et d'ashing. Le dispositif est capable de graver des surfaces jusqu'à 0,2 μ m de résolution, permettant des résultats très précis. Il fonctionne à une pression de travail aussi faible que 0,1 mbar et peut être configuré pour manipuler des matériaux avancés tels que le silicium, les matériaux III-V et les produits organiques. En outre, AXCELIS Rapidstrip 210 peut atteindre un débit très élevé grâce à ses capacités de chargement automatique avancées. Le chargeur de cassettes en ligne permet de gagner du temps lors du chargement et du déchargement des matériaux, tandis que le système automatisé de contrôle des processus simplifie les opérations et réduit le risque d'erreur humaine. L'unité est également équipée d'une variété de caractéristiques de sécurité, assurant le fonctionnement sûr et efficace de la machine. Il dispose de contrôleurs de sécurité intégrés pour la surveillance du débit de gaz et de la pression de la chambre, ainsi que de filtres EMI pour la protection contre les interférences électriques ou magnétiques. Il dispose également d'une protection contre les erreurs de tension et l'arrêt du programme d'urgence lorsque la machine rencontre des erreurs. Pour améliorer encore son fonctionnement, Rapidstrip 210 est conçu pour être convivial. Son interface utilisateur graphique intuitive (UI) offre une navigation facile à travers une variété de tâches. En outre, les utilisateurs peuvent sélectionner des recettes spécifiques, stocker et accéder aux recettes fréquemment utilisées et revoir les processus passés, en les soutenant dans la mise en place pour les processus de gravure ou d'ashing désirés. Dans l'ensemble, AXCELIS/FUSION Rapidstrip 210 etcher/asher est un outil de pointe conçu pour des tâches de gravure et de cendrage à grande vitesse. Avec son interface graphique conviviale, une variété de fonctions de sécurité intégrées, une grande précision et des capacités de débit élevées, il est bien adapté à un large éventail de exigences de gravure et d'ashing.
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