Occasion AXCELIS / FUSION RapidStrip 320 #9252297 à vendre en France
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ID: 9252297
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2002
Stripper / Asher, 12"
Chamber type: DRM
Frequency: 13.56 MHz
Maximum power: 5000 W
Temperature range: 30°C ~ 80°C
Gases:
Ar (754)
C4F8 (43)
O2 (46.8)
O2 (1215)
CF4 (336)
CHF3 (163)
CH2F2 (144)
N2 (300)
CO (500)
2002 vintage.
AXCELIS/FUSION RapidStrip 320 est un graveur et asher utilisé dans des industries telles que l'électronique, l'automobile, la biomédicale et la nanotechnologie. L'etcher et l'asher offrent des performances exceptionnelles en ce qui concerne le démontage d'une large gamme de substrats, y compris les métaux, les diélectriques et les produits organiques. FUSION RapidStrip 320 offre une productivité inégalée et une plateforme évolutive qui permet aux utilisateurs d'augmenter leur débit sans compromettre la qualité. AXCELIS RapidStrip 320 est équipé d'une chambre à vide, qui fournit un environnement de traitement contrôlé et exempt de contaminants pour les matériaux à traiter. Il est capable de traiter des charges de substrat importantes, avec la capacité de traiter des plaquettes jusqu'à 200 mm. La chambre à vide sert à maintenir le substrat en place, tandis qu'un collecteur d'effluents piège tout matériau qui est éliminé lors de la gravure. La chambre est également équipée d'un mandrin électrostatique (ESC), chargé d'assurer l'alimentation in situ des électrodes. Le CES élimine également toute possibilité que le matériau se déplace pendant le traitement, ce qui accroît encore la précision et le débit. Le RapidStrip 320 offre une large gamme de possibilités de gravure, notamment : gravure profonde à base de silicium, élimination sélective de couches épaisses ou très minces de matériau, et gravure optimisée de couches métalliques alternées. Sa technologie plasma froid brevetée réduit les dommages au substrat et assure une gravure uniforme grâce à une meilleure distribution de l'énergie ionique. L'asher d'AXCELIS/FUSION RapidStrip 320 est utilisé pour réaliser un dépôt régulier de photorésist pour le traitement des matériaux. Cela permet aux utilisateurs d'obtenir des spécifications fines pour la mémoire et les paquets de processeurs. L'asher dispose d'une interface graphique facile à utiliser qui permet aux utilisateurs de définir des recettes et de programmer des transferts de substrat. FUSION RapidStrip 320 offre des performances supérieures en gravure et en ashing. Il peut rapidement et avec précision démonter un large éventail de matériaux, déposer de la résine photosensible pour le bétonnage et effectuer des processus qui nécessitent un contrôle précis. Avec son système de vide efficace, ses charges de substrat importantes et sa technologie plasma froid brevetée, AXCELIS RapidStrip 320 est une solution fiable et rentable pour toute une gamme d'industries.
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