Occasion AXCELIS / FUSION RapidStrip 320 #9298289 à vendre en France

AXCELIS/FUSION RapidStrip 320 est un outil avancé de graveur/asher conçu pour une haute sélectivité, une température et une pression variables, et des vitesses de processus rapides. Il est capable de traiter une variété de substrats tels que le silicium, les systèmes composés et le GaAs. Cet outil offre une large gamme de taux de gravure sous vide, y compris les gravures peu profondes (< 10nm), les gravures sous-microns et les gravures profondes (< 20 µm). Son contrôle de précision permet à l'utilisateur de réaliser des profils de gravure très reproductibles. L'outil utilise une géométrie de chambre de processus unique pour obtenir des capacités de traitement multi-phases. Cela permet la gravure simultanée de plusieurs substrats et le développement uniforme de profils de processus complexes. La chambre offre également des champs magnétiques faibles tout au long du traitement, ce qui permet un procédé plus propre et plus fiable. FUSION RapidStrip 320 dispose de chambres de traitement indépendantes (avant et arrière) avec des températures et des réglages de pression variables, ce qui permet à l'utilisateur de contrôler complètement le processus de gravure. Cet outil comporte également un port de dépôt pour le contrôle d'épaisseur ou le dépôt d'un matériau sacrificiel. La chambre fournit également une connectivité complète à d'autres éléments AXCELIStels que les écrans à distance, l'enregistrement de données de processus en temps réel, et les recettes de processus pour les processus de gravure répétables et fiables. La capacité de lithographie rapide d'AXCELIS RapidStrip 320 permet une impression rapide et précise des motifs avec un débit allant jusqu'à 4 plaquettes par minute et une résolution jusqu'à 10nm. Il fournit également une intégration avancée des processus de gravure avec le contrôle des processus via la surveillance en temps réel et des recettes de processus de niveau wafer complet pour le contrôle précis des points de fin de processus et la répétabilité. Le RapidStrip 320 est un équipement exemplaire qui offre un fonctionnement convivial avec la dernière technologie de contrôle et de surveillance des processus, permettant des processus de gravure reproductibles et robustes. Cette combinaison de caractéristiques en fait l'un des graveurs/cendres les plus puissants et les plus avancés sur le marché.