Occasion AXCELIS / FUSION RapidStrip 320 #9329249 à vendre en France
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AXCELIS/FUSION RapidStrip 320 est un équipement de graveur/asher haute performance conçu pour éliminer efficacement les films minces et produire des structures de haute précision et de haut rapport d'aspect jusqu'à la taille de sous-microns. Cela a été designedFor qu'une haute précision traite dans la fabrication d'avancés, circuits intégrés de nano-échelle, optoelectronic et appareils microwave/RF. FUSION Le système RapidStrip 320 est doté d'une conception modulaire évoluée qui permet une flexibilité et des changements dans les exigences et les processus des clients. L'unité comprend un distributeur de produits chimiques haute pression et la capacité de manipuler différents produits chimiques selon l'application et le matériau à dénuder. L'outil nettoie les substrats à l'aide d'air ou de flux chimiques à haute pression. L'actif est très efficace et peut décaper jusqu'à deux plaquettes par minute, avec un minimum de matière excédentaire restant après gravure. Il dispose également d'une caméra CCD haute résolution avec un large champ de vision permettant la surveillance précise des paramètres de processus. Cela permet aux utilisateurs de suivre l'avancement de chaque processus de gravure. Le modèle AXCELIS RapidStrip 320 est fiable et contient de multiples redondances, y compris un tableau de commutation haute tension et plusieurs chambres à vide en panne. Son ordinateur de bord et son équipement de contrôle permettent une surveillance et un contrôle précis des paramètres du processus. Il comprend également des activités intégrées d'étalonnage et d'essai pour la maintenance automatisée et fiable des paramètres critiques du processus. Le système offre une flexibilité pour les changements de processus et la configuration des paramètres du processus de gravure, y compris les températures, les taux de gravure, le débit de gaz et les niveaux de puissance. Le logiciel embarqué permet un contrôle complet des paramètres du processus. Avec l'unité RapidStrip 320, les utilisateurs peuvent facilement ajuster les délais et le débit de traitement. La machine AXCELIS/FUSION RapidStrip 320 est facile à utiliser, fiable et économique. Avec sa conception avancée, sa flexibilité et ses résultats de haute précision, il est l'outil idéal pour le traitement des circuits intégrés nano-échelle avancés, des dispositifs optoélectroniques et micro-ondes/RF.
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