Occasion AXCELIS / FUSION Rapidstrip #293632719 à vendre en France

AXCELIS/FUSION Rapidstrip est un graveur et asher spécialement conçu pour une variété d'applications de semi-conducteurs. Il est conçu pour fournir des taux de gravure de pointe de l'industrie et une planéité de surface supérieure, à un prix concurrentiel. Cet équipement est conçu pour traiter les plaquettes de 200 et 300mm, avec la plus grande précision et précision. La chambre de gravure/cendrage est construite pour de véritables capacités de gravure de plaques parallèles, permettant une flexibilité accrue et un contrôle des processus. La chambre est entraînée par une pompe turbomoléculaire haute pression capable de fonctionner avec une pression de base exceptionnelle de 5 × 10-7 Pa et une vitesse de pompage jusqu'à 20 litres/seconde. La conception de la vanne de gaz de procédé intègre six sorties de gaz combinées indépendamment, tout en bénéficiant d'un débit de gaz maximal de 85 litres standard/minute. En termes de contrôle de processus, FUSION Rapidstrip dispose d'une plage de contrôle de puissance réglable de 0-550W avec un taux de gravure maximum de 5A/min, plus les fichiers de recettes sont en mesure de stocker jusqu'à 32K facteurs en mémoire. Le profil d'uniformité à travers la plaquette est plat dans un écart de 3 %, avec une uniformité d'épaisseur totale de 4-7 %. La plaque de matériaux, l'anneau de focalisation et l'allumeur sont tous construits en acier inoxydable, ce qui rend l'graveur et l'asher hautement durables et fiables. L'équipement dispose également d'un système intégré de refroidissement/nettoyage pour des performances optimales, avec une capacité d'azote/oxygène pour la protection de l'environnement. AXCELIS Rapidstrip est compatible avec une large gamme de matériaux organiques, inorganiques et contenant des métaux, divers substrats et diverses tailles. Il permet également la gravure des tranchées les plus profondes et des vias les plus minuscules, et répond aux normes de qualité les plus élevées acceptées dans l'industrie des semi-conducteurs. En résumé, Rapidstrip est un graveur et asher extrêmement puissant et fiable, capable de répondre aux exigences les plus complexes des clients de semi-conducteurs.