Occasion AXCELIS / FUSION WSI #9083198 à vendre en France

AXCELIS/FUSION WSI est un équipement de graveur/cendrier conçu pour graver et graver des circuits intégrés (IC) avec des plaquettes pouvant atteindre 300 mm. Il fournit une série de fonctionnalités pour permettre un traitement rapide des plaquettes, y compris multi-processus, multi-chambre, et multi-recette de la capacité de traitement. FUSION Le système WSI se compose de deux éléments principaux : le réacteur de gravure et le cendrier. Le réacteur de gravure délivre du plasma à couplage inductif (ICP) et du plasma radical pour graver des motifs de circuits intégrés dans la surface de la plaquette. Le processus de gravure du PCI se traduit par des taux de sélectivité très faibles, ce qui permet de créer des modèles précis et à haute définition. Le PCI est également utilisé pour graver les applications d'arrêt des murs dans plusieurs couches et sur de grandes surfaces. Le cendrier permet l'utilisation de cendres à base de fluor et de métaux. Ceci permet de placer avec précision sur les CI une large gamme de dopants différents, leurs concentrations et oxydes, permettant d'atteindre les caractéristiques électriques souhaitées. L'unité WSI AXCELIS permet d'économiser du temps dans le traitement des lots multi-plaquettes. Il a la capacité de traiter jusqu'à six plaquettes simultanément, permettant une production à haut débit. La machine dispose également d'une interface utilisateur intuitive qui simplifie la tâche de mise en place de la machine. Le logiciel d'automatisation garantit que l'outil obtient des résultats reproductibles, et l'utilisateur peut définir les paramètres du processus pour chaque couche afin d'atteindre le produit final désiré. L'actif offre également de la flexibilité en matière de gestion des recettes, permettant à l'utilisateur de sauvegarder et de rappeler des recettes pour différents processus. Il est ainsi facile de reproduire les résultats sur plusieurs séries, ce qui garantit des performances cohérentes entre les lots. Le modèle WSI offre également d'excellentes caractéristiques de sécurité, y compris un boîtier RF autonome, qui maintient le personnel loin de la zone de processus. L'équipement est également conçu pour fonctionner avec un minimum d'entretien, assurant une grande fiabilité et une longue durée de vie du système. Dans l'ensemble, l'unité AXCELIS/FUSION WSI fournit des résultats très précis et fiables pour la gravure et la cendre des circuits intégrés au niveau des plaquettes. C'est une machine très polyvalente et fiable, offrant à l'utilisateur des temps de configuration rapides, un débit élevé, des résultats reproductibles et un contrôle précis du processus.