Occasion AXCELIS / FUSION WSI #9087726 à vendre en France

AXCELIS/FUSION WSI est un équipement avancé de gravure/cendres conçu pour éliminer le besoin de processus de gravure manuels et de systèmes de gravure/cendres aéroportés. FUSION WSI utilise une combinaison d'un laser UV profond, de sources radiofréquences de haute puissance et d'une unité de distribution combinée de gaz et de produits chimiques. La machine dispose également d'un outil de lavage automatisé pour un nettoyage rapide et fiable de la chambre après chaque cycle de gravure ou de cendres. Cet atout intégré fournit un haut débit, une grande uniformité, solution de processus capable d'atteindre diverses tailles et formes de couches minces. Le modèle est capable de produire des motifs précis sur un large éventail de matériaux, y compris le GaAs, le silicium, le silicium polycristallin, le SiGe et le nitrure. L'équipement AXCELIS WSI est alimenté par un large éventail de matériaux, y compris des sources de gaz, de liquide et de plasma. Le système est capable de fournir des recettes de processus précises et répétables et offre également à l'utilisateur une plus grande flexibilité lors de la programmation des recettes de gravure et de cendres. Les sources radiofréquence de haute puissance sont utilisées pour fournir une gravure plasma précise pour les matériaux GaAs, SiGe et nitrures. Le laser UV profond (DUV) est utilisé pour développer efficacement des recettes de gravure en lui permettant de modeler et de graver efficacement des matériaux difficiles tels que le silicium polycristallin et le GaAs. L'unité WSI dispose également d'une machine d'alimentation automatisée, qui permet à l'utilisateur d'alimenter précisément les plaquettes dans l'outil. L'actif d'alimentation est doté d'un antistatique intégré qui prévient la non-uniformité et la contamination. Le modèle AXCELIS/FUSION WSI est équipé d'un contrôle de processus qui fournit une grande précision pour une large gamme de processus de gravure et de cendres. L'équipement permet également à l'utilisateur de s'alimenter et de monter entre les recettes rapidement et efficacement. La capacité de descente et de montée en puissance empêche les changements soudains dans les recettes de processus qui peuvent causer des résultats néfastes. En conclusion, le système FUSION WSI est un graveur/asher très avancé qui est conçu pour fournir des gravures précises sur un large éventail de matériaux. Avec son unité d'alimentation automatisée, son antistatique intégré et ses capacités de contrôle des processus, la machine est capable de fournir des recettes de gravure répétables avec une grande précision et uniformité. Il offre un moyen rentable et efficace de graver avec précision les matériaux et les cendres avec une quantité minimale de temps consommé.