Occasion AXCELIS Integra #9389490 à vendre en France

AXCELIS Integra est un équipement avancé de gravure à sec conçu pour fournir une capacité de traitement de gravure à grande échelle des plaquettes semi-conductrices composites et monocristallines. Il est capable d'effectuer une gravure soit par dépôt chimique en phase vapeur (CVD) classique, soit par dépôt plasma. Integra système permettra aux utilisateurs de graver plusieurs couches en séquence, permettant une gravure haute résolution sur un large éventail de matériaux fonctionnels. L'unité emploie un design innovant qui est détaillé dans Optics and Photonics Technical Handbook, 2ème édition. La machine se compose de deux parties : une chambre et une source d'énergie. La chambre contient un environnement à vide élevé, qui est utilisé pour le traitement des gravures et est équipé d'une porte d'obturation réglable pour éviter la contamination ambiante. La source d'énergie se compose d'un inverseur à liaison continue et d'une batterie AC/DC, qui sont capables de fournir jusqu'à 7 kV de puissance. L'outil permet aux utilisateurs d'ajuster la vitesse de gravure grâce au contrôle de la source d'énergie, ce qui permet une efficacité et une flexibilité élevées du processus. AXCELIS Integra est alimenté par les derniers sous-systèmes de lithographie et de gravure, ce qui donne une solution intégrée qui offre des performances inégalées et des résultats de gravure fiables. L'actif est capable de graver des couches aussi minces que 20 nm, avec une consistance de profondeur de processus de mieux que 2 pour cent. Le procédé de gravure comprend un large éventail de matériaux compatibles, dont le cuivre, le nitrure de gallium, le nitrure d'aluminium et le silicium polycristallin silicisé. Un certain nombre de modes de gravure sont disponibles, qui permettent aux utilisateurs d'ajuster le processus de gravure pour optimiser la résolution, le rendement, et d'autres paramètres de processus. Le modèle Integra offre également des fonctionnalités de sécurité améliorées, comme l'équipement de surveillance du gaz actif, l'arrêt d'urgence automatique et l'alarme de surchauffe. Ces systèmes de sécurité garantissent aux utilisateurs une protection adéquate contre les procédés et matériaux dangereux. En outre, le système est conforme au NRTL, ce qui signifie qu'il satisfait aux exigences de la National Fire Protection Association et UL. L'unité AXCELIS Integra est une solution de gravure idéale pour toute application semi-conductrice nécessitant une gravure fiable avec un contrôle précis du processus de gravure. Avec son design innovant, ses vitesses de gravure ajustables, sa large gamme de matériaux compatibles et ses caractéristiques de sécurité améliorées, Integra est un excellent choix pour toute tâche de gravure ou de traitement.