Occasion AXIC Multimode HF-8 #60542 à vendre en France
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ID: 60542
Plasma processing systems
For anisotropic and / or isotropic etch
System 110 V, 60 Hz, 15 Amps
220 V, 50/60 Hz, 7 Amps
Pump 110V, 60Hz, l0Amps or 220 V, 50/60 Hz, 6 Amps
H2O For Electrode Cooling [Electrode Dependent]
Air For Valve Operation
N2 For Chamber Vent
Gas Process Gasses.
AXIC Multimode HF-8 est un graveur et asher de pointe destiné à diverses applications de recherche et d'ingénierie. Il est conçu pour la gravure, la cendre et la lithographie sur des plaquettes jusqu'à 8 pouces de diamètre. Le dispositif offre un débit élevé avec une bonne qualité de procédé et la fiabilité, ce qui le rend idéal pour les applications industrielles et de recherche. L'équipement est basé sur une technologie de gravure ionique réactive (RIE) et dispose d'une chambre à vide ainsi que d'un certain nombre de composants auxiliaires. Son système de base est constitué d'une chambre à vide, d'un générateur RF, d'une unité de commande et d'une source de gravure/diffusion. La taille standard de l'échantillon est de 150x150x0.25 mm et l'appareil est compatible avec la plupart des types de substrats en plastique, métal et quartz. De plus, il peut graver et asher des substrats avec de petites tailles de caractéristiques allant jusqu'à 1 micron. Les principaux composants de Multimode HF-8 comprennent plusieurs types de sources de plasma, telles que le plasma à couplage inductif (ICP), la gravure ionique réactive (RIE) et les sources d'ablation laser. Ces sources offrent une gamme de processus de gravure et de diffusion pour permettre des processus personnalisés pour différentes applications. Les opérations possibles avec AXIC Multimode HF-8 comprennent la gravure des structures, la lithographie des couches supérieures et moyennes, la diffusion et l'implantation ionique. Le dispositif est livré avec plusieurs caractéristiques de sécurité, comme la protection contre la température et la détection des fuites de gaz. Il est également équipé d'une machine de commande informatisée, qui permet un contrôle automatique et fin des processus. Le logiciel permet de personnaliser les recettes de gravure et de lithographie, offrant ainsi une plus grande flexibilité de processus. Multimode HF-8 offre un outil puissant et polyvalent pour la gravure, la cendre et la lithographie. Avec ses sources de plasma évoluées, son outil de contrôle fiable et sa gamme de fonctions de sécurité, il offre un traitement rapide et fiable tout en offrant une bonne qualité de processus. Il est adapté aux applications industrielles et de recherche, ce qui en fait l'un des meilleurs graveurs et cendres disponibles sur le marché.
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