Occasion AXIC Multimode HF-8 #9171691 à vendre en France
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ID: 9171691
RIE Plasma processor
With water cooled parallel electrodes
ADVANCED ENERGY RFX-600 Power supply
Automatic RF matching
(3) MFC's for gas control
Process controller for multi-step processing
13.56 MHz, 600 W.
AXIC Multimode HF-8 est un graveur/asher moderne conçu pour des applications dans la fabrication de circuits haute fréquence. Le HF-8 offre des temps de gravure et de cueillette rapides et uniformes même pour les processus de microfabrication les plus complexes. L'équipement utilise un 550W le système source inductif à haute fréquence et traitera jusqu'à 8 pouces substrates dans le diamètre. La conception inductive de la source et de la chambre permet d'améliorer l'uniformité et la répétabilité des processus. Le HF-8 dispose également d'un moteur numérique qui permet des processus de gravure et de cueillette précis basés sur le temps. Le moteur numérique comprend une unité programmable de régulation de la température pour un contrôle précis de la température à ± 2 ° C des valeurs cibles. Cela permet d'obtenir des résultats cohérents avec différentes recettes de processus, assurant des performances fiables de l'appareil. La machine assure également la communication entre le logiciel de gestion des graveurs/asher et des recettes, ce qui permet de personnaliser et de sélectionner facilement les recettes de processus. Le HF-8 est équipé d'un outil de distribution de gaz RVF pour la livraison efficace des gaz de gravure et de cueillette, ainsi que de chambres DI/UPW pour les précurseurs ultra-purs et l'élimination des produits. Le gaz porteur N2 est également complètement isolé de la chambre de procédé, ce qui élimine la nécessité d'une alimentation en gaz porteur externe. L'actif comprend une interface d'écran tactile entièrement informatisée pour la surveillance et l'affichage des données de processus. Le logiciel graphique inclus permet à l'utilisateur de surveiller visuellement et de contrôler les recettes de gravure/cueillette. Le moniteur de processus en temps réel permet d'enregistrer et d'enregistrer les utilisations et les recettes, ce qui permet une analyse et une comparaison faciles des différents résultats de processus. Multimode HF-8 est un modèle idéal pour la fabrication précise de circuits haute fréquence, offrant un meilleur contrôle des processus, des résultats uniformes et une plus grande flexibilité que les procédés traditionnels de gravure et d'ashing.
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