Occasion BAL-TEC BAF060 #9247281 à vendre en France
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BAL-TEC BAF060 est un graveur/asher conçu pour la gravure de précision et l'ashing dans l'industrie des semi-conducteurs. Il fournit un taux de gravure élevé, l'uniformité, et la sélectivité avec de plus grandes zones de plaquettes. Cette machine est capable de fournir jusqu'à 3 microns ou moins de sélectivité de gravure pour les exigences de processus les plus exigeantes, permettant la fabrication d'architectures avancées pour les produits semi-conducteurs les plus avancés. BAF060 a une conception de mouvement à trois axes, qui assure la précision et la répétabilité. Chaque axe parcourt jusqu'à 1,5 mètre et est entraîné par des moteurs linéaires d'entraînement de haute précision, qui permettent un temps de cycle très court. L'équipement est équipé d'un système de surveillance à plusieurs niveaux, qui surveille l'ensemble de l'unité et contrôle le processus de gravure/cueillette. BAL-TEC BAF060 dispose également d'un ordinateur intégré, qui stocke les recettes et les informations sur les recettes, ce qui permet d'adapter le processus de gravure/cueillette aux exigences spécifiques. Ceci est particulièrement intéressant dans la réalisation de structures semi-conductrices avancées telles que celles des industries photovoltaïque et MEMS. L'ordinateur intégré agit également comme un centre de contrôle « en temps réel », surveillant constamment la machine pour s'assurer que le processus se déroule correctement. BAF060 est équipé d'une variété de gaz de procédé, qui peuvent être fournis à la chambre de gravure pour fournir la gamme complète de gaz de procédé pour la gravure et le cendrage précis. Les gaz sont délivrés dans un outil en boucle fermée, qui assure un flux uniforme de gaz de procédé et un environnement vierge dans la chambre de gravure. Cela permet à BAL-TEC BAF060 de fournir des résultats optimaux dans les processus de gravure simple et de cueillette. Le processus de BAF060 est exceptionnellement convivial, permettant l'automatisation et la surveillance par l'utilisateur. L'utilisateur peut surveiller l'ensemble du processus étape par étape et au besoin donner des commandes manuelles à l'actif. Cela permet un étalonnage rapide, le diagnostic et l'optimisation du processus. Dans l'ensemble, BAL-TEC BAF060 est un outil très sophistiqué et fiable pour les processus de gravure et d'ashing de précision. Il offre une vitesse de gravure, une répétabilité et une sélectivité uniformes et convient aux structures semi-conductrices de grande surface. En plus, un processus facile à utiliser et des nombreux avantages opérationnels rendent BAF060 un actif inestimable dans l'Industrie de Semi-conducteur.
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