Occasion BAL-TEC RES010 #171772 à vendre en France

BAL-TEC RES-010 est un système de gravure/ashing sur banc de précision conçu pour le traitement de substrat à moyenne et grande échelle. Il est idéal pour la recherche et le développement de procédés tels que la gravure de cristaux électro-optiques et de verre, la chimie de gravure à couches minces, la gravure de dispositifs MEMS, et le semi-conducteur ashing and stripping. Le système comprend cinq composantes principales : une unité principale, une alimentation électrique, un banc, une chambre de procédé et une alimentation en liquide de refroidissement. L'unité principale abrite la chambre de procédé et se compose d'une chambre supérieure et inférieure pour fournir une source lumineuse pour un masque de gravure. L'alimentation et le banc sont équipés d'un écran numérique pour un réglage facile des paramètres de gravure. La chambre de procédé est conçue pour permettre à la fois l'écoulement vertical et latéral ou l'entrée et la sortie des milieux, ce qui rend le procédé polyvalent et efficace. L'alimentation intégrée en liquide de refroidissement assure des températures de traitement optimales et stables, tandis que l'isolation thermique entièrement fermée maintient la température de la chambre stable pendant le cycle de traitement. Ceci garantit que le substrat est traité à une température beaucoup plus élevée que le milieu environnant et est également capable d'atteindre des tailles de caractéristiques de sous-microns. BAL-TEC RES-010 dispose d'une gamme de recettes spécifiques au processus, qui peuvent être stockées et rappelées rapidement et facilement, ce qui permet de personnaliser facilement chaque recette et d'avoir un contrôle complet sur le processus. Il dispose également d'un moniteur à cristaux de quartz entièrement automatisé, permettant aux utilisateurs de suivre les progrès de gravure tout en s'assurant que la gravure se déroule correctement. L'etcher est équipé d'une pompe turbomoléculaire, permettant une homogénéité optimale sur une large surface de gravure. BAL-TEC RES-010 offre une excellente uniformité et répétabilité des gravures, ce qui en fait un outil idéal pour les processus à moyenne et grande échelle. Cela le rend adapté pour des industries allant des semi-conducteurs aux dispositifs microélectroniques, fournissant des résultats fiables à chaque fois. Le système garantit également la sécurité avec ses parois renforcées PEEK et une excellente isolation thermique pour une protection optimale contre les chocs thermiques accidentels et les contraintes.