Occasion BALZERS BAF 400 #9016405 à vendre en France

BALZERS BAF 400 est un système Plasma Asher haute performance fabriqué par BALZERS. Spécialement conçu pour la recherche et l'intégration de processus, il est capable de gravure ionique réactive (RIE) ainsi que de cacher et nettoyer des couches épaisses et minces sur une variété de substrats. Le système utilise une source exclusive de plasma inductif couplé (ICP) et est capable d'un certain nombre de processus, y compris la gravure plasma O2, SF6, CF4 et Ar. La source du PCI présente une stabilité et une souplesse de procédé améliorées qui permettent un contrôle plus précis des paramètres du processus, ce qui donne des résultats de nettoyage et de gravure supérieurs. Les composants qui composent BAF 400 sont entièrement intégrés et conçus pour travailler ensemble, offrant fiabilité et répétabilité. Le système est équipé d'un contrôleur pour la commande des paramètres et d'un verrouillage sous vide qui ferme automatiquement le plasma lorsque la pression de la chambre dépasse une certaine limite. De plus, BALZERS BAF 400 présente une caractéristique de gravure à haute température qui permet la gravure de matériaux à des températures allant jusqu'à 185 ° C Plusieurs paramètres du processus tels que la pression, la puissance RF et le débit de gaz peuvent être ajustés pendant le processus de gravure. La chambre est équipée d'une entrée et d'une sortie pour la gestion du gaz qui permet un dosage rapide et uniforme des gaz de procédé. La chambre peut également être reliée à une pompe à vide externe pour un échappement efficace des gaz réactifs. Le BAF 400 est également équipé d'une plaque de douche chauffée dont la température varie entre -20 et + 100 ° C pour un traitement sûr et fiable. Une caractéristique de revêtement conforme est incluse permettant un revêtement uniforme sur les échantillons. Avec ses paramètres de contrôle précis et ses caractéristiques polyvalentes, BALZERS BAF 400 est une excellente solution de gravure pour les applications de R&D et d'intégration de processus. Sa fiabilité et sa haute qualité de gravure en font un ajout précieux à tout laboratoire ou environnement de production.