Occasion BALZERS / INFICON LFC 150 #9279137 à vendre en France

BALZERS / INFICON LFC 150
ID: 9279137
Plasma cleaners 2003-2008 vintage.
BALZERS/INFICION BALZERS/INFICON LFC 150 est un graveur ou asher conçu pour la gravure précise et ultra-rapide du tungstène et le processus de cendrage des métaux lourds sur la grande et petite zone de substrat. C'est l'un des systèmes de gravure les plus avancés sur le marché aujourd'hui et est un outil très fiable et rentable qui a été intégré pour être utilisé dans des techniques de microfabrication avancées telles que la fabrication d'IC, MEMS, et les applications de semi-conducteurs. Le graveur se compose d'un puissant équipement laser CO2 et d'un second résonateur harmonique de précision qui est conçu pour fournir la plus grande précision de gravure avec une dégradation thermique minimale. BALZERS LFC 150 est équipé de deux faisceaux laser indépendants et d'un étage multi-axisque de haute précision qui offre un contrôle précis du processus de gravure. Les deux lasers peuvent être programmés pour effectuer le même cycle de gravure simultanément, augmentant la productivité et permettant une gravure plus précise avec moins de temps et d'effort. L'étage est également équipé d'un système de régulation de la température, qui permet de maintenir la température de travail entre 0 et 30 ° C, et d'une unité de vide offrant une pression de base de 40 mbar. La machine à vide est conçue pour éliminer rapidement la contamination de la chambre de procédé, ce qui donne des rendements de gravure élevés et une précision à long terme. L'outil comprend également un logiciel de contrôle et une interface PC, qui peut être utilisé pour programmer et surveiller facilement le processus de gravure. Cela permet de ne pas interrompre le processus de gravure, et tous les paramètres tels que l'éclatement laser, l'intensité laser, le profil de gravure et la zone de gravure peuvent être changés instantanément. En outre, l'actif dispose d'une gamme de détecteurs spécialisés pour surveiller le processus de gravure en continu, assurant les résultats de la plus haute qualité. INFICON LFC 150 est un outil idéal pour diverses applications avancées de microfabrication, telles que la fabrication d'appareils haut de gamme, MEMS et IC. Ses capacités de gravure de précision et d'ashing supérieures, ainsi que son automatisation de haut niveau, fournissent un outil de gravure efficace et convivial avec des résultats fiables.
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