Occasion BALZERS / UCP LFC 150 #293799927 à vendre en France

BALZERS/UCP LFC 150 est un équipement de graveur/asher spécialisé utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs et de la microélectronique pour le nettoyage du plasma, la gravure et la modification de surface. Cet équipement de pointe est conçu pour fournir des résultats de haute performance avec une précision et une fiabilité exceptionnelles. UCP LFC 150 dispose d'une chambre à vide de pointe qui crée un environnement à basse pression propice à la génération de plasma. Le système est équipé d'une source d'énergie haute fréquence RF (Radio Frequency) qui ionise les gaz de processus, créant un plasma qui peut être utilisé pour nettoyer ou graver les substrats avec une grande uniformité et répétabilité. Un des composants clés de BALZERS LFC 150 est l'unité de distribution de gaz, qui permet un contrôle précis des gaz de procédé et de leurs débits. Cette machine permet aux utilisateurs d'adapter les réactions chimiques qui se produisent dans le plasma pour obtenir des taux de gravure spécifiques, une sélectivité et des propriétés de surface. L'outil de distribution de gaz est équipé de régulateurs de débit massique (MFC) qui assurent un débit de gaz précis et stable tout au long du processus. L'actif comprend également une chambre de serrure de charge pour transférer des substrats dans et hors de la chambre principale de traitement sans casser le vide. Cette caractéristique minimise la contamination et améliore la répétabilité des processus en maintenant un environnement de traitement propre. La chambre de serrure est équipée d'un bras robotique ou d'un modèle de cassette pour la manutention automatisée du substrat, améliorant ainsi la productivité et le débit de l'équipement. En termes de production de plasma, le LFC 150 utilise une source de plasma à double fréquence pour améliorer la flexibilité du procédé. La combinaison de l'excitation de puissance basse fréquence (LF) et haute fréquence (HF) permet de contrôler la densité du plasma et la distribution de l'énergie, permettant un large éventail de capacités de processus telles que l'ashing, le descum, la gravure isotrope et la modification de surface. La source de plasma à double fréquence contribue également à la capacité du système à traiter différents types de substrats et de matériaux aux caractéristiques variables. Pour surveiller et contrôler le processus de gravure/ashing, BALZERS/UCP LFC 150 est équipé de capacités avancées de surveillance et d'automatisation des processus. La détection des paramètres en temps réel, la spectroscopie optique d'émission (OES) et la spectrométrie de masse sont quelques-uns des outils de diagnostic intégrés à l'unité pour l'optimisation des processus et la détection des défauts. De plus, la machine peut être interfacée avec un logiciel informatisé de contrôle des processus pour la gestion des recettes, l'enregistrement des données et l'exploitation à distance. UCP LFC 150 est conçu avec des fonctionnalités conviviales pour la facilité d'exploitation et de maintenance. L'outil comprend une interface utilisateur avec des contrôles intuitifs et un affichage graphique pour la surveillance des paramètres du processus et de l'état des actifs. Les tâches d'entretien telles que le nettoyage des chambres, le remplacement des électrodes et l'étalonnage des modèles sont simples avec un accès facile aux composants critiques et aux ports de service. Dans l'ensemble, BALZERS LFC 150 est un équipement de graveur/asher polyvalent et fiable qui offre des capacités de haute performance pour une variété d'applications de semi-conducteurs et de microélectronique. Avec ses fonctions avancées de contrôle des processus, d'automatisation et de surveillance, cet équipement est idéal pour la recherche et le développement, la production pilote et les environnements de fabrication à haut volume où la précision et la cohérence sont cruciales.