Occasion CANON / ANELVA 4100 #9210331 à vendre en France

CANON/ANELVA 4100 est un appareil de gravure et de cendrage sec et radiofréquence utilisé pour la gravure et le cendrage précis des dispositifs semi-conducteurs. Le système fonctionne à une fréquence de 13,56 MHz et peut être utilisé pour effectuer une gamme de processus de gravure et de cendrage tels que le dénudage SiO2, l'ouverture de l'ouverture de l'oxyde, la gravure latérale de l'oxyde et la gravure du fond et la décapsulation FGA. Il est conçu pour permettre des applications à haut débit, et est typiquement utilisé dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. CANON 4100 a une conception compacte avec un bas-profil, corps à panneaux latéraux, idéal pour les applications de gravure à l'échelle des puces qui nécessitent une haute précision. Il dispose également d'un pont de travail complet pour le chargement et le déchargement des pièces, et peut contrôler jusqu'à 8 zones de gravure distinctes pour améliorer l'efficacité du processus. De plus, l'unité est équipée de quatre étages de contrôle de température qui permettent aux utilisateurs de préchauffer et de refroidir le substrat à une température spécifique avant la gravure ou la cueillette, tandis que son panneau de contrôle de processus modulaire facilite l'ajustement et la surveillance des paramètres du processus. ANELVA 4100 contient plusieurs fonctions de surveillance de processus, dont une machine de détection in situ pour le courant et la tension, la détection du débit de gaz et la surveillance de la température. Cela permet de s'assurer que tous les processus sont menés avec précision et que l'appareil gravé obtient les résultats souhaités. De plus, l'outil comporte un certain nombre de dispositifs de sécurité, comme une chambre de blindage RF pour empêcher le rayonnement RF de la chambre de traitement, et un superviseur RF in situ pour détecter toute fuite RF possible. 4100 est un atout polyvalent et fiable capable de fournir une gravure et une cale fiables et de haute précision des dispositifs semi-conducteurs. Sa conception peu profilée et ses fonctions de surveillance des processus in situ garantissent un contrôle et une surveillance précis, tandis que son panneau modulaire de contrôle des processus et ses quatre étapes de contrôle de la température permettent aux utilisateurs de personnaliser les paramètres de gravure et d'ashing pour leur application. Ce modèle est un outil idéal pour fabriquer des dispositifs semi-conducteurs avec un haut niveau de précision et d'efficacité.