Occasion CANON / ANELVA DEA-503 #293649682 à vendre en France

CANON/ANELVA DEA-503 est une machine de gravure ionique réactive (RIE) conçue spécifiquement pour la gravure de semi-conducteurs et d'autres matériaux microélectroniques. Le procédé RIE crée des résultats de haute précision en utilisant un plasma créé à partir d'un réactif chimique et d'un champ électrique pour éliminer le matériau de la surface du substrat. CANON DEA-503 est capable de graver des matériaux organiques et inorganiques tels que le silicium, le quartz et la céramique, ainsi qu'un ensemble d'autres semi-conducteurs et couches diélectriques. La machine a une plage de température maximale de 200 à 600 ° C et peut accueillir des substrats jusqu'à 200 mm de taille et 15 kg de poids. La machine contient plusieurs composants clés, à commencer par une chambre à plasma et deux pompes qui fournissent le vide et le réactif chimique nécessaires. Ce réactif peut être choisi en fonction du matériau gravé, ce qui vous permet d'utiliser de l'oxygène, du chlore, du fluor et d'autres éléments. La source d'énergie, un générateur de source à fréquence contrôlée, fournit la quantité de puissance RF nécessaire pour créer un plasma. Les électrodes à l'intérieur de la chambre créent un champ électrique directionnel qui peut être configuré en fonction de l'application de gravure. Un capteur de mesure de pression permet également à l'opérateur de contrôler l'équilibre de pression dans la chambre de plasma. Le logiciel avancé inclus avec ANELVA DEA-503 fournit une interface utilisateur intuitive qui permet aux utilisateurs de modifier rapidement les paramètres ou d'ajuster les paramètres. Des fonctions d'automatisation comme auto-stop, auto-start et auto-tune sont également incluses pour rendre les processus de gravure plus efficaces. En outre, l'interface utilisateur fournit une multitude de données diagnostiques qui peuvent être utilisées pour résoudre les problèmes éventuels au cours du processus de gravure. DEA-503 est l'une des machines de gravure les plus fiables et précises sur le marché. Il est conçu pour fournir des résultats supérieurs en précision et en précision sur un large éventail de matériaux. Avec son interface utilisateur intuitive et ses fonctions d'automatisation avancées, il est bien adapté à différentes applications de gravure industrielle.