Occasion CANON / ANELVA Dry etcher #293817446 à vendre en France
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ID: 293817446
Taille de la plaquette: 8"
8"
Etch/Oxi-ER Chamber
IARIM System
SHIMADZU (TMP) Pump
ANELVA (CT) Pump
ER Holder HT (350-450C).
CANON/ANELVA Dry etcher est un outil de pointe conçu pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs, spécifiquement pour les applications de gravure et d'ashing. Cet équipement offre une fonctionnalité avancée et la précision pour la gravure et le nettoyage de divers matériaux dans la fabrication de semi-conducteurs. Avec sa conception et ses caractéristiques innovantes, CANON Dry etcher offre des performances et une fiabilité élevées dans l'industrie exigeante des semi-conducteurs. Une des caractéristiques clés d'ANELVA Dry etcher est sa capacité de gravure à sec, qui est essentielle pour créer des motifs précis sur les matériaux semi-conducteurs. La gravure à sec est un procédé qui élimine le matériau d'un substrat à l'aide de plasma généré par une puissance RF à haute fréquence. Le procédé de gravure sèche offre des avantages par rapport aux méthodes de gravure par voie humide, tels qu'une plus grande sélectivité de gravure, un meilleur contrôle des profils de gravure et une consommation chimique réduite. Dry etcher est équipé d'une source de plasma sophistiquée qui permet un contrôle précis du processus de gravure. La source de plasma génère des espèces réactives qui réagissent chimiquement avec le matériau gravé, permettant l'élimination sélective de couches ou de motifs spécifiques. Ce niveau de contrôle est essentiel pour obtenir des tolérances serrées et des résultats de gravure de haute qualité dans la fabrication de semi-conducteurs. En outre, CANON/ANELVA Dry etcher dispose d'une conception de chambre avancée qui assure une gravure uniforme sur toute la surface du substrat. La chambre est équipée de systèmes précis de contrôle de la température et de la pression qui optimisent l'environnement plasmatique pour une gravure efficace. Cette uniformité est essentielle pour obtenir des résultats cohérents et répondre aux spécifications strictes requises dans la production de semi-conducteurs. En plus de la gravure à sec, CANON Dry etcher offre également des capacités d'aspiration pour nettoyer et éliminer les contaminants organiques des substrats. L'ashing est un procédé qui utilise le plasma d'oxygène pour mélanger et volatiliser les résidus organiques, laissant derrière lui une surface propre pour les étapes de traitement ultérieures. La fonctionnalité ashing d'ANELVA Dry etcher garantit que les substrats sont exempts de contaminants qui pourraient affecter la performance et la fiabilité des dispositifs. Dry etcher est conçu avec une interface conviviale qui permet aux opérateurs de programmer et de contrôler facilement les processus de gravure et de cueillette. L'équipement dispose d'un logiciel intuitif qui permet des réglages précis des paramètres, la gestion des recettes et la surveillance en temps réel des conditions de processus. Cette interface utilisateur simplifie les opérations et facilite le développement et l'optimisation efficaces des processus. De plus, CANON/ANELVA Dry etcher est construit avec des composants et des matériaux robustes qui garantissent la fiabilité et la stabilité à long terme. L'équipement est construit pour résister aux exigences rigoureuses des environnements de fabrication de semi-conducteurs, fournissant des performances constantes sur de longues périodes de fonctionnement. Cette fiabilité est essentielle pour minimiser les temps d'arrêt et maximiser la productivité dans les installations de fabrication de semi-conducteurs. Dans l'ensemble, CANON Dry etcher est un outil de pointe qui offre des performances et une précision supérieures pour les applications de gravure sèche et d'ashing dans la fabrication de semi-conducteurs. Avec ses fonctionnalités avancées, son interface conviviale et sa conception robuste, cet équipement est un atout précieux pour les fabricants de semi-conducteurs à la recherche de solutions de pointe pour leurs besoins de gravure et de nettoyage.
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