Occasion CANON / ANELVA ECR-300E #9380734 à vendre en France

CANON/ANELVA ECR-300E est un équipement de pointe de gravure et d'ashing conçu pour la production de dispositifs semi-conducteurs de haute performance. Il s'agit d'un système compact et très efficace équipé d'une large gamme de fonctionnalités et d'options standard, y compris les technologies avancées de sources de plasma. CANON ECR-300E offre des processus de pulvérisation optimisés avec une homogénéité et une répétabilité exceptionnelles, assurant des niveaux de qualité et de productivité élevés. ANELVA ECR-300E offre une compatibilité de plaquettes jusqu'à 600 mm et dispose d'une unité unique de transport de plaquettes à cinq niveaux, capable de transporter des plaquettes à travers des chambres de traitement indépendantes sans intervention manuelle. La machine de transport des plaquettes est conçue pour assurer une récupération maximale des procédés et prévenir les dommages ou contaminer les plaquettes en raison de la surtransformation. L'architecture de chambre multi-processus offre également un contrôle dynamique des plaquettes tout au long du processus de pulvérisation, permettant une optimisation dynamique de l'angle de bombardement ionique et de la polarisation du substrat. En outre, ECR-300E dispose d'une configuration d'ultra-haute fréquence allant jusqu'à 200MHz, ainsi que d'un certain nombre d'options avancées de sources de pulvérisation, y compris magnétron (DC et RF) et extrêmement haute densité plasma (EHD) sources multi-cibles. CANON/ANELVA ECR-300E est capable de produire des films monochromatiques ou polychromatiques en utilisant une ou deux sources en même temps, et peut également gérer des applications de dopage plasma. L'outil comprend en outre plusieurs fonctions de contrôle et de surveillance des processus, permettant un contrôle précis des paramètres du processus tels que la pression, la température et la puissance. CANON ECR-300E dispose d'un atout unique de refroidissement à flux liquide en deux étapes qui fournit des températures de processus optimales et peut être utilisé pour le recuit à basse température et à basse température. Le modèle offre également un refroidissement en boucle fermée pour un meilleur contrôle de précision, ainsi qu'un équipement automatisé de gestion des recettes pour une configuration facile des processus. En outre, ANELVA ECR-300E dispose de fonctions de contrôle automatique des gaz de haute performance permettant un contrôle de qualité de haute précision. ECR-300E est conçu pour répondre aux normes les plus élevées de l'industrie pour des performances optimales et la fiabilité sur de nombreuses années d'exploitation. Le système est également soutenu par une gamme complète de services et d'assistance, y compris des pièces de rechange, des contrats d'entretien et un soutien technique complet. CANON/ANELVA ECR-300E est idéal pour tous les processus de gravure et d'ashing haute sécurité, offrant qualité et efficacité pour une variété d'applications de fabrication de dispositifs semi-conducteurs.