Occasion CANON / ANELVA I-42230 #9236119 à vendre en France

CANON/ANELVA I-42230 est un outil Ion Etcher/Asher pour la préparation des plaquettes. Il est conçu pour la gravure in situ, le nettoyage et le décapage de métaux tels que l'aluminium, le cuivre et l'or sur une variété de substrats de plaquettes. CANON I-42230 a une configuration à chambre unique avec alimentation sous vide et en gaz, manipulateurs de plaquettes multi-hauteur, et une source de plasma métallique à vide (MPS). Le MPS dispose d'une anode et de deux anneaux d'électrodes alimentés par des condensateurs, créant un faisceau d'ions pour la gravure. L'anode est faite de fil de tungstène à haute vitesse, et les deux anneaux d'électrodes sont constitués d'une coque en aluminium et d'un anneau en cuivre. ANELVA I-42230 est capable de graver les métaux et l'oxyde métallique de la surface de la plaquette, les surfaces métalliques propres et les bandes métalliques de la plaquette. Il convient à un large éventail de paramètres et de conditions de processus. I-42230 est équipé d'un régulateur de débit de masse variable, qui permet un contrôle précis des processus de gravure et de nettoyage. CANON/ANELVA I-42230 a un temps de gravure d'environ une à plusieurs minutes selon le procédé, la surface de la plaquette et l'épaisseur du film. Il peut également être utilisé pour traiter des plaquettes plus épaisses que quatre micromètres environ. Il a une vitesse de gravure maximale allant jusqu'à 1,0 µm/min, et une température de traitement maximale de 500 ° C CANON I-42230 dispose d'une gamme de vide de 50 à 8 x 10-5 Pa. Il est capable de deux gaz de procédé, soit l'azote et l'oxy-hydrogène ou l'argon et l'oxy-hydrogène. Il a une consommation de puissance de 12 kW pour la gravure et de 36 kW pour les procédés de cueillette, ainsi qu'une plage de pression de processus de 0,3 à 30 mbar. Pour des raisons de sécurité, ANELVA I-42230 dispose d'un système d'alarme incendie avec des capteurs qui surveillent le débit de gaz et les conditions de traitement. Le système est relié au système de commande central qui avertit de tout danger. I-42230 dispose également d'un interrupteur d'arrêt d'urgence et d'un disjoncteur d'isolement de la masse. CANON/ANELVA I-42230 est facile à installer et à utiliser. Il est également très fiable en performance et est connu comme l'un des outils de gravure plasma/asher les plus rentables sur le marché. Cet outil etcher/asher est idéal pour la fabrication de plaquettes, les procédés MEMS/MOEMS et la fabrication de circuits intégrés.