Occasion CANON / ANELVA ILD 1060 #9111594 à vendre en France

CANON/ANELVA ILD 1060 est un graveur/asher de haute précision fabriqué par CANON Corporation. Cet équipement fournit une gravure sèche avancée et pulvérisation physique ionisée pour une large gamme d'applications de traitement de plaquettes. Le système utilise une unité optique à fort grossissement pour focaliser précisément le faisceau d'ions et fournir une plus grande précision de traitement avec des dommages inférieurs au substrat. La machine est construite avec un outil de mouvement quatre axes intégré avec des servomoteurs linéaires d'entraînement de précision. Il offre un processus de gravure précis et répétable pour obtenir une haute précision de finition. Sa compensation de mouvement de vibration directe (DVMC) fournit une gravure ultra fine avec des fluctuations minimes en réponse aux vibrations externes. CANON ILD 1060 est capable de produire des motifs ultra-fins sur des plaquettes de silicium, car il est capable de graver des caractéristiques aussi petites que 2 microns de largeur et une profondeur allant jusqu'à 40 nanomètres. L'actif peut être utilisé pour des processus multicouches, car il peut graver à travers différentes couches de matériaux sans compromettre l'intégrité des couches. Le modèle dispose d'un processus automatisé vers le haut/vers le bas utilisant la technologie de gravure de films ultra-minces, permettant une gravure supplémentaire de haute précision, tout en réduisant l'uniformité et les dommages aux plaquettes de processus. L'équipement est également capable de sécher avec un système de chauffage local réglable, qui peut fournir jusqu'à 1000W de puissance à la surface du substrat. ANELVA ILD 1060 est compatible avec une gamme de différents gaz de procédé, y compris l'oxygène, l'argon et l'azote. Son unité d'épuration in situ réduit la contamination et assure un nettoyage supérieur des plaquettes. La machine comprend également une interface à distance sur place qui permet la surveillance et le contrôle à distance. En conclusion, ILD 1060 est un outil de graveur/asher puissant et précis offrant une gamme de fonctionnalités pratiques. Sa capacité à créer des motifs fins de haute précision, associée à sa fonction complète à distance de bout en bout, le place à l'avant-garde des processus de gravure sèche et de pulvérisation physique ionisée.