Occasion CANON / ANELVA ILD 4002 #9111252 à vendre en France

CANON/ANELVA ILD 4002 est un équipement avancé de graveur et d'aspirateur conçu pour les applications de gravure par ions réactifs profonds (DRIE) dans les industries du semi-conducteur, du MEMS et de l'optoélectronique. Le système est capable d'effectuer des opérations de gravure et de plasma avec précision et contrôle. CANON ILD 4002 dispose d'une gamme complète de paramètres de processus, permettant une gravure complexe des caractéristiques sur un large éventail de matériaux. Cette unité de gravure convient à une variété de matériaux difficiles à graver, de l'arséniure de gallium (GaAs) au silicium polycristallin. La machine de gravure à double chambre avancée ANELVA ILD 4002 est conçue pour des capacités de gravure profonde précises et reproductibles. Cet etcher dispose d'une fréquence radio (RF) optimisée et d'une puissance couplée, tandis qu'un environnement de gravure haute pression permet une gravure à haut débit dans une gamme de substrats. Il dispose également d'une grande variété d'options accessoires qui offrent une flexibilité pour différentes opérations de gravure et de cueillette. La conception innovante de la chambre sur ILD 4002 réduit les risques de contamination, tout en permettant un accès facile au substrat. Cet outil de gravure compacte et asher est capable de gravures profondes sur un large éventail de matériaux. Il offre également des capacités de cendrage de haute précision pour la gravure de précision et les exigences de cendrage. La conception innovante de CANON/ANELVA ILD 4002 garantit de basses températures de processus, un faible gazage et une contamination minimale pour les opérations de gravure et de cueillette. CANON ILD 4002 offre une gamme de capacités de gravure et de cendrage de haute précision. Il dispose d'une capacité de gravure nanométrique, avec des fonctionnalités jusqu'à 50nm réalisables. De plus, l'actif a une capacité de gravure à basse température, avec des taux de gravure allant jusqu'à 350 nm/min et des processus de nettoyage après gravure. Le modèle offre également une variété robuste de processus de gravure et de fonctionnalités, y compris un contrôle de sélectivité fine, des taux de gravure jusqu'à 2500nm/min, et des processus de suppression des défauts. ANELVA ILD 4002 a également une capacité de plaquette de 16 ", permettant le traitement direct des plaquettes. En résumé, ILD 4002 est un équipement avancé de graveur et asher conçu pour répondre aux exigences exigeantes des applications de gravure par ions réactifs profonds (DRIE). Il offre des capacités de gravure et de cendrage de haute précision, ainsi que des capacités de gravure à l'échelle nanométrique et des fonctionnalités jusqu'à 50nm. Ce système dispose également d'une grande variété de processus de gravure et de fonctionnalités, y compris les processus de nettoyage post-gravure et les processus de suppression des défauts.