Occasion CANON / ANELVA ILD 4002 #9111382 à vendre en France

CANON/ANELVA ILD 4002 est un graveur, également appelé asher, utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs. Cette machine est un graveur ionique réactif (RIE) et sec sophistiqué, conçu pour déposer des couches minces de composants de gravure diélectrique et métallique sur des plaquettes de silicium. Il est capable de produire des caractéristiques à haute résolution et à grains fins. La machine est contrôlée par un ordinateur, permettant un contrôle précis des paramètres de gravure. Cela permet d'optimiser les résultats de gravure en limitant la propagation des dommages de gravure, le degré de porosité ouverte et le degré de profil de paroi de fond. Il peut également être utilisé pour graver des structures 3D avec biais de flanc nul. CANON ILD 4002 est capable de traiter des plaquettes de 3, 5 et 8 pouces. Ses chambres à plasma sont équipées de filtres anti-électrons secondaires (SES) et d'interférences afin de minimiser les niveaux de contamination critique de la surface, ce qui peut affecter les performances de la structure gravée. Un équipement de jauge automatisé est inclus pour assurer une surveillance constante du processus, avec rétroaction au système informatique. L'unité dispose également d'un régulateur de pression et d'un micro-balances à cristaux de quartz pour une gravure précise. La conception unique de la machine réduit le temps nécessaire au nettoyage des étapes et permet un entretien facile. Cette machine est encore améliorée avec une pince à haute sensibilité contrôlée thermiquement qui aide à des placements serrés de plaquettes. ANELVA ILD 4002 est également spécialement conçu pour assurer une sécurité maximale. Ses systèmes de sécurité comprennent l'atomiseur Argon, des signaux contrôlés en cas d'urgence et plusieurs capteurs de sécurité. Le filtre d'échappement maintient les niveaux de particules bien en dessous des seuils pour assurer un environnement de travail sûr. Dans l'ensemble, ILD 4002 est un outil de gravure de pointe. Il est capable de produire de petites caractéristiques serrées pour des procédés de micro-fabrication de plus en plus complexes. Il dispose de plusieurs caractéristiques de sécurité et de technologie qui en font l'un des systèmes de gravure les plus populaires disponibles pour l'industrie des semi-conducteurs.