Occasion CANON / ANELVA ILD 4003M #9111256 à vendre en France

CANON/ANELVA ILD 4003M etcher/asher est un équipement de gravure à sec haute performance qui convient à une variété d'applications industrielles de micro-fabrication. Il est conçu pour la micro-structuration et le micromachinage de divers matériaux, dont le silicium, les couches minces, etc. Le système utilise la gravure ionique réactive (RIE) pour créer des microstructures à haut rapport d'aspect. CANON ILD 4003M offre un cycle de vie long, des performances efficaces et fiables et une faible consommation de matériaux. ANELVA ILD 4003M peut obtenir une énergie ionique plus faible que les systèmes traditionnels grâce à ses capacités de gravure thermique à vide élevé. Il utilise la technologie des sources « froides » à base de magnétron, qui assure un dépôt efficace du faisceau d'ions à la surface du substrat. L'unité est équipée d'un large éventail de paramètres de préconditionnement de processus et de caractéristiques pour les étapes de pré et post-traitement qui comprennent le nettoyage de l'oxygène, le dépôt de masque dur, le brillant, la gravure et la gravure des métaux. Le contrôle intégré de fréquence des processus (IPFC) et la focalisation plasma d'ILD 4003M sont conçus pour améliorer la gravure ionique réactive et permettre une plus grande précision, ce qui donne des caractéristiques de haute qualité et répétables. De plus, CANON/ANELVA ILD 4003M offre une excellente uniformité de gravure, de petites caractéristiques et un taux de gravure élevé. Il supporte également une gamme de gaz de gravure, y compris l'argon, le dioxyde de carbone, l'oxygène et l'hydrogène. CANON ILD 4003M fournit un large éventail de conditions de processus, assurant la compatibilité avec une variété d'applications, y compris la lithographie, le formage 3D, MEMS, et d'autres processus de microfabrication. Il dispose d'une interface de panneau tactile LCD intuitive pour faciliter le fonctionnement et la gestion du processus de gravure. De plus, ANELVA ILD 4003M dispose d'une fonction de surveillance à distance intégrée qui permet d'assurer l'efficacité et de réduire les temps d'arrêt. Dans l'ensemble, CANON ILD 4003M est une machine de gravure idéale pour réaliser des microstructures de haute qualité dans une grande variété d'applications. Ses caractéristiques de pointe et ses technologies de pointe en font un outil fiable et puissant pour la microfabrication industrielle.