Occasion CANON / ANELVA ILD 4015 #9143474 à vendre en France

CANON/ANELVA ILD 4015 est un graveur/asher conçu pour la fabrication de structures microélectromécaniques telles que la microélectronique, les capteurs et d'autres composants d'appareils de haute précision. Il s'agit d'un graveur/asher à plasma à couplage inductif avec une source de faisceau d'électrons qui utilise des gaz argon et CF4 pour graver la surface de l'échantillon dans un environnement à vide élevé. CANON ILD 4015 est un petit équipement polyvalent, ce qui le rend adapté à une large gamme d'applications de gravure et d'ashing. ANELVA ILD 4015 se compose de quatre composants principaux : une chambre d'échantillonnage, un équipement de pompage, une source de faisceau d'électrons et une alimentation électrique. La chambre d'échantillonnage est en aluminium avec aimants électrostatiques et permanents, et un système de distribution de gaz, qui permettent un contrôle précis de la distribution des gaz de gravure. L'unité de pompage abrite à la fois une pompe turbomoléculaire et une pompe d'appoint mécanique pour obtenir un environnement à vide élevé pour le contrôle des processus plasmatiques. La source de faisceau d'électrons produit un faisceau d'électrons de haute intensité qui est utilisé pour générer le plasma. Enfin, l'alimentation est chargée de contrôler l'énergie du faisceau d'électrons et de maintenir le plasma. ILD 4015 est capable de graver et d'aspirer des tailles jusqu'à 20 micromètres et peut graver le métal, le silicium, le dioxyde de silicium, et d'autres matériaux. Son environnement sous vide élimine la nécessité d'une étape de passivation de surface humide, et sa source de faisceau d'électrons permet un traitement à basse température exempt de contamination et de dommages. En outre, ses fonctions de contrôle de la machine de livraison de gaz et de contrôle de l'uniformité de gravure de surface le rendent adapté à un large éventail de besoins de processus. CANON/ANELVA ILD 4015 est également bien adapté à un certain nombre de techniques de caractérisation, telles que la spectrométrie de masse des ions secondaires (SIMS) et la microscopie à force atomique (AFM). Son environnement à vide élevé et son contrôle de la température permettent de graver et d'aspirer avec une grande précision les composants sensibles, tandis que la source de faisceau d'électrons peut être utilisée pour effectuer la gravure anion-faisceau pulvérisateur et l'oxydation de l'échantillon. De plus, CANON ILD 4015 est conçu pour des expériences sans diaphonie, qui sont nécessaires à la caractérisation. Dans l'ensemble, ANELVA ILD 4015 est un graveur/asher efficace conçu pour une large gamme d'applications de gravure et ashing. Son environnement à vide élevé, sa source de faisceau d'électrons et son outil de distribution de gaz fournissent aux utilisateurs un contrôle précis des processus. Il est également bien adapté à un certain nombre de techniques de caractérisation, ce qui en fait un excellent outil pour la fabrication de composants de dispositifs de haute précision.