Occasion CANON / ANELVA ILD 4015 #9257789 à vendre en France
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ID: 9257789
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1991
Dry etcher, 6"
1991 vintage.
CANON/ANELVA ILD 4015 est un graveur/asher de haute précision conçu pour un usage industriel et de recherche. Cette machine est capable de créer des motifs très précis et complexes sur des matériaux de substrat. Il s'agit d'un graveur/asher à double constituant, c'est-à-dire qu'il est capable d'utiliser soit la gravure, soit la cendre comme procédés de traitement primaires. CANON ILD 4015 utilise une chambre à plasma à couplage inductif (ICP) pour créer un environnement à haute température qui est utilisé pour graver ou cendrer le matériau du substrat. La chambre possède un magnétron à résonance cyclotron électronique intégrée (ECR), ce qui augmente encore la température et la densité du plasma à l'intérieur de la chambre pour assurer des résultats de gravure précis. Les temps de gravure et de cendrage de ANELVA ILD 4015 peuvent être ajustés pour répondre aux besoins spécifiques de chaque application, car le processus est hautement accordable. La surface maximale de traitement est de 150 mm x 150 mm, ce qui le rend adapté à une gamme de substrats de formes et de tailles variables. Le système de vide intégré permet à ILD 4015 de maintenir une pression très constante pendant les processus de gravure et de cueillette. Ceci assure une répartition plus régulière de la gravure sur le matériau du substrat, ce qui conduit à des produits finaux de meilleure qualité. La machine est capable de fonctionner à des températures allant de la température ambiante à 900 ° C, ce qui lui permet d'être utilisée pour divers procédés, dont le dopage des plaquettes, la structuration 3D et la modification de surface. CANON/ANELVA ILD 4015 offre également une gamme d'autres fonctionnalités, y compris la commande d'accélérateur, l'introduction contrôlée du gaz et l'arrêt automatique du gaz. Ces caractéristiques aident à augmenter encore la précision des processus de gravure et de cueillette, permettant un contrôle plus précis sur le résultat final. CANON ILD 4015 est un graveur/asher accordable de haute précision conçu pour un usage industriel et de recherche. Sa chambre ICP intégrée, son magnétron ECR et son système de vide de précision lui permettent de graver et de cendrer des matériaux de substrat avec une grande précision et efficacité. La plage de température réglable, le système de commande d'accélérateur, l'introduction contrôlée de gaz et les fonctions d'arrêt automatique améliorent encore les capacités de la machine, ce qui la rend hautement adaptée à une variété d'applications.
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