Occasion CANON / ANELVA ILD 4015 #9390493 à vendre en France

CANON / ANELVA ILD 4015
ID: 9390493
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1994
Dry etcher, 6" 1994 vintage.
CANON/ANELVA ILD 4015 est un graveur/asher, ou Vapor Etch Asher, dans lequel la gravure en phase vapeur ou la gravure plasmatique gravante est effectuée sur des spécimens pendant la recherche et le développement, avant les cycles de production ou pour les essais en laboratoire. Ce dispositif fonctionne sur des gaz organiques métalliques, qui sont aspirés de l'extérieur de la chambre puis chauffés pour créer un plasma. Le plasma obtenu est utilisé pour graver ou asher des échantillons à l'intérieur du dispositif. CANON ILD 4015 est un outil puissant pour la gravure et la cueillette de divers matériaux, y compris les métaux, les polymères et les semi-conducteurs. ANELVA ILD 4015 utilise un principe de cendrage avancé de la technologie des électrodes flottantes (FET), qui chauffe les gaz organiques métalliques pour créer un plasma pour la gravure et le cendrage. Les électrodes flottantes sont situées à des distances différentes du matériau à graver et permettent une répartition uniforme du plasma au cours du processus. Le système FET offre également une uniformité inégalée dans les temps de gravure et de cueillette. Avec cette technologie, on peut réaliser une zone localisée ou une gravure sélective. L'ILD 4015 est équipé d'un mandrin électrostatique, qui permet de placer avec précision les plaquettes avant l'ashing. Il peut traiter des échantillons rectangulaires jusqu'à 200 mm x 300mm de taille, et peut traiter un maximum de cinq unités par lot. En outre, CANON/ANELVA ILD 4015 est équipé de pompes à vide puissantes, fournissant un vide de base de 3 x 10-6Pa. CANON ILD 4015 est un graveur numérique. Il est livré avec un microprocesseur embarqué et une interface tactile conviviale. L'affichage numérique montre la pression, la température et le temps pendant le processus de gravure ou de cueillette, permettant un contrôle précis des conditions du processus et de l'atmosphère de la chambre. En conclusion, ANELVA ILD 4015 est un graveur/asher haute performance, équipé d'une technologie de pointe et de contrôles intuitifs conviviaux. Il permet la gravure et la cueillette efficaces d'une variété de matériaux, tout en assurant un contrôle précis du processus. La polyvalence et les performances de ILD 4015 en font un outil utile pour tout laboratoire de recherche ou de production.
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