Occasion CANON ANELVA ILD 4032 #293747124 à vendre en France

CANON/ANELVA ILD-4032 est une machine de gravure à sec conçue pour graver, nettoyer et recuit des matériaux dans un environnement contrôlé. Il convient au traitement de divers matériaux, dont des métaux, des semi-conducteurs, des substrats céramiques et des matériaux polymériques tels que l'époxyde, le polyimide et le PEEK. CANON ILD-4032 utilise un équipement hybride d'alimentation en gaz, qui consiste en un mélangeur à gaz intégré avec un contrôle fin, des régulateurs de débit massique et des soupapes proportionnelles. La source de gaz peut être sélectionnée à partir du système intégré de deux sources de gaz ou d'une source de gaz externe distincte. Le mélangeur interne de gaz est programmé pour fournir jusqu'à six combinaisons de gaz pour le contrôle du processus. La pression du gaz, la température, la puissance RF et le temps de traitement sont également réglables. ANELVA ILD-4032 est équipé d'une unité d'écriture de masque optique à haute résolution pour définir le motif de gravure. La machine à écrire est composée d'un laser de 1 μ m, d'un étage XY de haute précision et d'un mécanisme d'autofocus. Cet outil est capable d'écrire des motifs avec une taille de caractéristique minimale de 0,5 μ m, qui est plus petite que la taille de caractéristique minimale typique de 1 μ m. ILD-4032 dispose d'un atout de fourniture de puissance RF composé d'un générateur RF haute puissance, haute fréquence et boîte de correspondance RF. Il est capable de délivrer une puissance élevée sur une large gamme de fréquences de traitement, de 50 Hz à 350 kHz. Il dispose également d'une gamme de puissance RF réglable de 10 à 1000 W. CANON/ANELVA ILD-4032 dispose également d'une chambre à vide haute et d'une turbomachine à deux étages haute vitesse. La chambre à vide est en acier inoxydable et a un intérieur circulaire, qui est conçu pour réduire au minimum la zone de la gaine de plasma. Cette conception permet une grande surface de processus et des taux de gravure plus élevés. La turbo-pompe a une vitesse de 150 m3/h et peut évacuer la chambre à vide à une pression de 4,7 x 10-7 Pa. CANON ILD-4032 dispose également d'un moniteur de particules in situ pour détecter les particules produites pendant le processus de gravure. Ce modèle recueille et dénombre les particules pour assurer une qualité de gravure uniforme et éviter tout dommage de surface potentiel. En conclusion, ANELVA ILD-4032 est une machine de gravure avancée adaptée au traitement d'un large éventail de matériaux. Ses caractéristiques de conception et ses paramètres réglables le rendent facile à utiliser et hautement fiable. C'est un outil incontournable pour des procédés industriels tels que la fabrication de semi-conducteurs, le micromachinage et la micro-mécanique.