Occasion CANON / ANELVA ILD 4033 #9111258 à vendre en France

CANON/ANELVA ILD 4033 est un équipement complexe de gravure ionique réactive et de gravure sèche à la pression atmosphérique (APDE) qui peut fournir des analyses de précision dans de nombreux domaines de recherche. Ce système est spécifiquement utilisé pour la gravure de matériaux tels que métaux, semi-conducteurs et autres composés. L'unité CANON ILD 4033 dispose d'une machine de manutention de plaquettes/substrats multi-niveaux intégrée conçue pour fonctionner dans une atmosphère de vide sans avoir besoin d'un outil de manutention et de transport supplémentaire. L'actif comprend une broche, une table, un bras de robot et d'autres composants pour charger et décharger rapidement et de façon fiable les plaquettes de la chambre de processus. Ce modèle offre également un collecteur d'azote en option pour le traitement du gaz et de la température des plaquettes, des systèmes intégrés de sélection des plaquettes et d'embrayage pour manipuler les plaquettes avec précision et sécurité. L'équipement ANELVA ILD-4033 est capable d'effectuer à la fois la gravure ionique réactive (RIE) et la gravure sèche à la pression atmosphérique (APDE). Il est équipé d'un mandrin électrostatique pour maintenir la plaquette en sécurité et passe une décharge de plasma entre les anneaux d'électrodes. Les procédés RIE sont le plus couramment utilisés pour graver des matériaux tels que le silicium, l'arséniure de gallium et d'autres semi-conducteurs composés. Le procédé APDE est couramment utilisé pour la gravure de structures en aluminium, oxyde-semi-conducteur métallique (MOS) et isolant-semiconducteur métallique (MIS). Pour les procédés RIE et APDE, le système ILD-4033 offre un rétracteur à quartz en option pour maintenir l'uniformité des matériaux et réduire les symptômes de gravure. De plus, l'unité est équipée d'un puissant poste de contrôle de l'enregistrement des données qui est également chargé de contrôler les paramètres du processus, de surveiller la température de la plaquette et de permettre à l'utilisateur d'annuler manuellement tous les paramètres du processus. Ce poste de contrôle est entièrement compatible avec la programmation de la recette et permet une surveillance facile des détails des plaquettes en temps réel. CANON/ANELVA ILD-4033 est une machine incroyablement puissante pendant le processus de gravure, offrant des procédés compatibles W/M, VO et O2 et des procédés compatibles pression, température et photorésist. La conception robuste de cet outil et ses composants très avancés permettent une gravure allant de la gravure de sous microns à la gravure profonde sur un large éventail de matériaux. Dans l'ensemble, l'actif ANELVA ILD 4033 gravure ionique réactive et gravure sèche à pression atmosphérique (APDE) est un modèle incroyablement avancé conçu pour fournir une gravure précise et fiable des métaux, des semi-conducteurs et d'autres composés. Utilisant une station de contrôle puissante pour l'enregistrement des données et un assortiment complet de processus de gravure, cet équipement offre des performances de gravure de calibre mondial pour des applications de recherche.