Occasion CANON / ANELVA ILD 4033 #9257787 à vendre en France

CANON/ANELVA ILD 4033 est un graveur à ions (RIE )/asher compact, puissant et réactif utilisant la technologie du gaz inerte. Il s'agit d'un équipement monobloc, constitué d'une chambre principale qui abrite le substrat, d'une chambre interne de procédé et d'une chambre externe pour l'acheminement du gaz inerte utilisé dans le procédé de gravure. Le système est conçu pour la gravure de divers matériaux, y compris du silicium, des films métalliques et d'autres matériaux semi-conducteurs. CANON ILD 4033 est capable de graver avec précision le matériau avec un contrôle précis et uniformité. La chambre de procédé contient une unité de commande fine pour maintenir une profondeur de gravure uniforme et une pression de chambre de gravure réglable pour contrôler le temps de gravure et la température. La machine est également capable de très fortes vitesses de gravure et présente une grande tolérance aux effets d'ombre dus à des vitesses de gravure différentes de matériaux différents. ANELVA ILD-4033 est équipé d'un contrôleur embarqué, permettant à l'utilisateur de programmer le processus de gravure, de stocker jusqu'à 99 programmes de processus, de redémarrer les processus interrompus ou incomplets et d'ajuster les paramètres de réglage pendant le fonctionnement. La chambre principale est également équipée de fenêtres en quartz pour permettre la visualisation du processus de gravure. ILD 4033 utilise une alimentation RF et un PIC (plasma inductif couplé) pour générer une atmosphère idéale pour la gravure. L'outil est capable de générer du plasma ICP avec des techniques d'électrodes à paroi froide, des polarisations RF et des capacités d'alimentation AC/DC. La chambre principale est conçue pour générer des densités plasmatiques élevées et maintenir des conditions stables tout au long du processus, permettant des profondeurs de gravure précises et reproductibles. ILD-4033 est équipé d'un atout de sécurité avancé. Le modèle est équipé d'une porte anti-explosion et d'une série d'interrupteurs de sécurité pour prévenir l'exposition accidentelle aux produits chimiques de gravure. La chambre de traitement a été conçue pour prévenir la production de particules et les dommages externes à l'équipement. De plus, un capteur d'environnement ambiant surveille continuellement l'environnement interne pour assurer la sécurité des opérations. En conclusion, ANELVA ILD 4033 est un puissant graveur d'ions réactif utilisant la technologie du gaz inerte pour graver les matériaux avec précision et précision. Ses fonctions de sécurité avancées et son contrôleur embarqué offrent à l'utilisateur un processus de gravure efficace et fiable.