Occasion CANON / ANELVA ILD 4033 #9258941 à vendre en France
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CANON/ANELVA ILD 4033 est un outil de gravure/ashing utilisé principalement dans la production de composants et d'appareils électroniques. Il est capable de processus de gravure/cueillette par voie humide et sèche, permettant une large gamme d'applications dans la production de composants. CANON ILD 4033 dispose d'un générateur de plasma RF qui produit un plasma très puissant pour un profil de gravure uniforme. Ce générateur est composé d'une armoire à double fréquence, d'une alimentation à double fréquence et d'une source de plasma RF, offrant à l'ANELVA ILD-4033 une large gamme de capacités de génération de plasma. L'outil est également équipé d'un réglage avancé de polarisation automatique de l'électrode, permettant la génération de différents effets de gravure/ashing. Ceci est réalisé en ajustant la tension de l'électrode et en permettant à l'utilisateur de réaliser des paramètres personnalisés de gravure/ashing. Le modèle est conçu pour maximiser la précision et la vitesse pendant le processus de gravure/cueillette. Il utilise un équipement rotor de haute précision qui maintient le substrat, créant un flux de gaz uniforme. Une source de gaz à haute pression est également incluse dans le but de fournir un taux de gravure/cendres plus élevé. La machine permet la gravure/cueillette simultanée de plusieurs substrats, grâce à sa tête de gravure de plateaux multi-étages. Ceci présente non seulement plusieurs électrodes de plateaux, mais aussi des buses de précision qui peuvent être ajustées pour les paramètres de gravure/cendres désirés. ILD 4033 fournit une solution de nettoyage robuste, grâce à son module de nettoyage avancé. Ce module de nettoyage comprend à la fois une boîte de nettoyage à sec statique et un système de nettoyage flexible RF. Ces caractéristiques travaillent ensemble pour éliminer efficacement les résidus de la plaquette et du plateau après chaque processus de gravure/cueillette. L'équipement offre également une protection efficace contre les dommages de gravure, en raison de son "unité de protection avancée. Cela comprend une alimentation en courant alternatif pour un contrôle efficace de la tension ; une machine d'interception intégrée pour éviter les vibrations dues à des niveaux de pression élevés ; et un générateur haute fréquence RF, pour améliorer la sécurité électrique en cas de défaillance de l'isolation. En conclusion, ANELVA ILD 4033 est un outil de gravure/ashing très avancé qui offre une solution cohérente, fiable et efficace pour la production de composants et d'appareils électroniques. Ses nombreuses fonctionnalités en font un outil très efficace pour la production de composants, avec un ensemble polyvalent de capacités de gravure/cendres, un outil de rotation précis et rapide, et plusieurs solutions de nettoyage et de protection incluses.
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