Occasion CANON / ANELVA ILD 4100 SVII #293654386 à vendre en France
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CANON/ANELVA ILD 4100 SVII est un graveur/asher qui utilise la technologie du plasma à couplage inductif (PIC) pour obtenir un contrôle de haute précision du processus de gravure/ashing. L'équipement est conçu pour une utilisation dans une chambre à vide, permettant une compatibilité potentielle avec d'autres procédés. CANON ILD 4100 SVII est capable de traiter une large gamme de matériaux avec d'excellentes performances de gravure/cendrage et qualité de surface. La principale caractéristique du système est la source du PCI et les alimentations électriques associées. Ces alimentations génèrent et contrôlent le PIC, qui sert à graver/cendrer le matériau cible. Le PIC génère un mécanisme de nettoyage sans contact, où des ions composés des espèces plasmatiques pénètrent à la surface du matériau, ce qui entraîne la décomposition du matériau cible et l'élimination du matériau. Ce procédé conduit également à une grande homogénéité de la surface gravée/cendrée. En plus de la source et des alimentations électriques du PIC, ANELVA ILD 4100 SVII dispose également d'une unité intégrée d'alimentation en gaz, permettant un contrôle précis des espèces plasmatiques et de leurs interactions avec le substrat du procédé. La machine dispose également d'une turbomachine à vide élevé, permettant le maintien d'un état de vide faible pour des performances de gravure/cueillette optimales. ILD 4100 SVII dispose également de multiples configurations de processus ICP, permettant une plus grande flexibilité pour une large gamme d'applications de gravure/ashing. Les caractéristiques et les paramètres de l'outil, tels que la pression, le débit de gaz et la concentration de gaz ILD, peuvent également être ajustés avec précision et sont affichés et contrôlés par l'interface graphique utilisateur (UI). Cela permet à l'utilisateur de contrôler avec précision le processus de gravure/cueillette et de maintenir des résultats de haute qualité. CANON/ANELVA ILD 4100 SVII offre également une variété de fonctions de sûreté et de sécurité, telles que le dispositif intégré de surveillance, qui fournit des informations à l'utilisateur comme le niveau de vide et la température du modèle. Dans l'ensemble, CANON ILD 4100 SVII est un graveur/asher très avancé avec une multitude de fonctionnalités qui permettent une gravure/ashing haute performance. L'équipement est capable de traiter un large éventail de matériaux, avec d'excellentes performances de gravure/cueillette et la qualité de surface. Le système est également équipé de multiples configurations de processus ICP, unité intégrée d'alimentation en gaz et turbomachine à vide pour des performances de gravure optimales et un contrôle de précision du processus de gravure/ashing. ANELVA ILD 4100 SVII offre également une variété de fonctionnalités de sécurité, donnant à l'utilisateur la possibilité d'obtenir des performances maximales de la machine.
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