Occasion CANON / ANELVA ILD 4100SR #293751263 à vendre en France

CANON/ANELVA ILD 4100SR est un graveur/asperge d'ion réactif de haute qualité avec une résolution de 0,5 µm. Cette machine peut traiter une variété de matériaux dont le silicium, le dioxyde de silicium, le nitrure de silicium, le verre et d'autres diélectriques. Il est capable de réaliser des motifs de haute précision sur ses substrats avec une grande homogénéité et une faible rugosité de surface. La machine comprend des systèmes de distribution de gaz optimisés qui permettent un contrôle précis des paramètres de processus pour la gravure de substrat à haut débit et l'ashing. Pour ce faire, on contrôle à la fois le biais DC et RF, et on introduit des gaz de procédé réactifs au fluor à base d'halogène pour une gravure optimisée. Une seule chambre de serrure permet un transfert rapide du substrat et une inspection de surface, ainsi que des processus d'oxydation et de polymérisation. En ce qui concerne ses composants, CANON ILD-4100SR comprend un porte-échantillons électrostatique, une électrode et des distributeurs d'étincelles, une fenêtre de guide d'ondes, un obturateur à gaz, des éléments chauffants à tube de quartz et un contrôleur XYZ avec un étage de rotation en option. Il a également une jauge à vide et une jauge ionique, et des contrôleurs de pression avec un réglage manuel. ANELVA ILD-4100 SR offre une grande chambre de traitement qui peut accueillir jusqu'à 4 "de plaquettes. Il a une alimentation de polarisation variable jusqu'à 500W, ainsi qu'une puissance de polarisation haute fréquence jusqu'à 600W. Le générateur hyperfréquence de grande puissance fournit une fréquence maximale de 2,45 GHz. La machine dispose d'une vitesse d'évaporation thermique allant jusqu'à 15nm/s et d'un environnement de vide maximum de 10-6 Torr. ANELVA ILD 4100 SR est conçu pour offrir un fonctionnement et un service fiables. Il dispose d'un outil étendu de 70 000 heures par an. La machine est également livrée avec un système de télécommande qui permet aux utilisateurs de surveiller et d'ajuster les processus à partir d'un emplacement distant. Enfin, le logiciel CANON ILD 4100 SR offre un contrôle de processus et une fiabilité étendus. Il comprend la surveillance automatisée, l'enregistrement des données historiques, la gestion des recettes et les options d'optimisation des processus.