Occasion CANON / ANELVA ILD 4100SR #293758800 à vendre en France

CANON / ANELVA ILD 4100SR
ID: 293758800
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1996
Dry etcher, 8" 1996 vintage.
CANON/ANELVA ILD 4100SR est un graveur/asher ionique haute performance utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs. Il est capable de gravure avec une très haute résolution et sélectivité. CANON ILD-4100SR dispose d'un large éventail de processus, avec la capacité de graver jusqu'à 8 pouces de plaquettes avec une uniformité de +/- 10 %, tandis que la répétabilité est dans +/- 1 %. L'outil est idéal pour des applications de haute précision, qui nécessitent un haut degré de répétabilité en termes de temps et d'épaisseur de matériau. ANELVA ILD-4100 SR utilise la technologie du faisceau ionique, permettant la gravure de matériaux avec peu ou pas de perte de matériau. Le processus est également extrêmement efficace, avec une faible consommation de ressources et un faible stress résiduel. L'équipement peut être programmé avec différents paramètres, tels que le temps de gravure et le courant du faisceau, afin de produire une gravure optimisée pour chaque application. CANON ILD 4100SR dispose également d'une enceinte d'azote pour aider à maintenir un faible taux de particules, une chambre à vide élevé et un système d'obturation pour minimiser la gravure à l'extérieur de la zone du masque. Il utilise également une unité brevetée de filtrage des gaz capable d'éliminer les molécules O2, N2 et CxHx (x étant un nombre) de la chambre de procédé. Ce procédé de filtration permet d'assurer une grande douceur de surface et une finition parfaite des pièces. La vitesse de gravure de l'ANELVA ILD 4100 SR peut être modulée par ses réglages à deux fréquences, permettant une gravure fine. La machine peut également afficher une image en temps réel du processus, permettant la rétroaction immédiate des résultats. Cela permet d'assurer des résultats de gravure et de cueillette cohérents et précis. ANELVA ILD-4100SR est également livré avec une gamme de fonctions spéciales, telles que le pompage à vide, le placage de contraintes résiduelles faibles, la formation de zinc coulé, et le dopage en mode W. Ces caractéristiques supplémentaires sont conçues pour offrir un champ d'application plus large, comme le placage d'ouvertures de contact sur une plaquette, ou la formation d'une couche sur une plaquette de quartz. CANON/ANELVA ILD-4100SR est un graveur/asher ionique haut de gamme avec un certain nombre de caractéristiques uniques. Ses capacités technologiques sont conçues pour la précision et la fabrication à haut rendement, et ses fonctions spéciales supplémentaires lui confèrent plus de flexibilité. Ensemble, ces composants constituent un outil puissant pour la gravure de matériaux semi-conducteurs.
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