Occasion CANON / ANELVA ILD 4100SR #9161261 à vendre en France

CANON/ANELVA ILD 4100SR est un graveur/asher de pointe pour la fabrication de dispositifs microélectroniques. Il combine une technologie avancée de gravure par faisceau d'ions et une technologie peu profonde de gravure anisotrope pour permettre un large éventail de paramètres de gravure. CANON ILD-4100SR est conçu pour produire des gravures uniformes, propres et précises qui peuvent être utilisées pour une grande variété de procédés de fabrication de dispositifs microélectroniques. ANELVA ILD-4100 SR a une structure fixe à base avant qui garantit des exigences minimales de maintenance. Il est en acier inoxydable et son extérieur est résistant à la corrosion et facile à nettoyer. La chambre de gravure est conçue spécifiquement pour les processus de gravure et de cueillette et est équipée d'un système de positionnement de haute précision. La chambre a une taille de 200mm x 200mm x 80mm et peut supporter les conditions de gravure atmosphérique et sous vide. ANELVA ILD-4100SR est capable de graver des matériaux avec un large éventail de paramètres de gravure tels que ILD (Inductively Coupled Plasma), CF4, SF6 et CCl2F4. Il supporte à la fois le faisceau d'ions réactif et la gravure induite par le faisceau d'ions. Il est capable d'atteindre des vitesses de gravure supérieures à 1400 nm/min et est capable de graver des formes différentes avec des profils différents. CANON ILD-4100 SR est très fiable et possède une large gamme de fonctions de contrôle de processus. Il peut être préréglé pour contrôler les courants du faisceau d'ions, la pression du gaz, le temps de gravure et les temps de fonctionnement et d'arrêt du substrat. Il comprend également des diagnostics de processus intégrés qui permettent d'assurer l'uniformité et la répétabilité des gravures. CANON/ANELVA ILD 4100 SR est également équipé d'un aligneur laser qui peut régler à distance l'intensité du faisceau d'ions et vérifier l'alignement du motif de gravure. Un système d'imagerie thermique infrarouge peut mesurer la température de la surface de gravure et fournir une rétroaction à l'opérateur pour améliorer les résultats de gravure. ILD-4100 SR a une conception robuste, très fiable, et est capable de produire des gravures de dispositifs microélectroniques précises et précises. Ses fonctionnalités faciles à utiliser et ses diagnostics intégrés permettent d'obtenir des résultats de gravure fiables et reproductibles.