Occasion CANON / ANELVA ILD 4100SR #9227368 à vendre en France

CANON/ANELVA ILD 4100SR est un graveur/asher haute performance conçu pour des applications dans l'industrie des semi-conducteurs. Le dispositif utilise les dernières techniques de gaz inerte pour la gravure idéale ou la cueillette de plaquettes, dispositifs MEMS, et d'autres substrats. CANON ILD-4100SR est équipé de la dernière technologie de contrôle N2O2 pour des résultats de gravure et d'ashing précis et reproductibles avec peu ou pas de dommages de surface. Le dispositif dispose d'une excellente compatibilité avec une grande variété d'agents de gravure à base de fluorure et d'acide ainsi que de dioxyde de carbone pour l'ashing de silice et de silicium. L'équipement offre une excellente résolution et précision avec des résultats reproductibles et une finition de surface améliorée. Son enceinte intégrée permet l'utilisation de méthodes avancées de distribution de gaz associées au refroidissement Smartstream pour des résultats d'uniformité supérieurs. ANELVA ILD-4100 SR est également équipé d'une variété de fonctions de contrôle de processus, y compris un contrôle interne de pression, de débit et de température pour une gravure/cueillette précise de différents types de plaquettes. Le dispositif fonctionne sur une alimentation haute fréquence qui peut traiter jusqu'à 60MHz en mode normal. Cela permet un contrôle précis et précis du processus de gravure/cueillette. Avec l'alimentation haute fréquence, le système dispose d'une variété d'autres composants avancés, tels qu'un régulateur de pression de chambre à microprocesseur et une unité de décharge électromagnétique à haut rendement. ILD 4100SR est également livré avec une variété de caractéristiques de sécurité, y compris une porte auto-verrouillable, une machine intégrée de suppression d'incendie, une alarme de température excessive et un outil d'arrêt d'urgence. En outre, l'actif est également livré avec des protocoles de communication sécurisés et le chiffrement de données intégré pour transmettre et recevoir des données en toute sécurité vers et depuis l'appareil. Dans l'ensemble, ILD 4100 SR est un excellent dispositif de gravure/asher. Il fournit un processus exact, répétable et sûr pour la gravure et l'ashing d'une variété de substrats de plaquettes et d'appareils MEMS. Les dernières techniques de gaz inerte, ainsi que les caractéristiques de sécurité intégrées, rendent le modèle adapté à une grande variété d'applications.